[实用新型]埋线式对位对准机构

权利要求书

1.一种埋线式对位对准机构，其特征在于：包括一固定平台、多个设置固定平台上的XYθ装置，所述XYθ装置各具有一驱动单元与量测驱动单元一位移量的多个位置感测器，且所述XYθ装置通过缆线电性连接于一输出端，以及设置于各XYθ装置转动单元上的移动平台，以及通过缆线与输出端连接的控制器， 

所述固定平台设有多个对应XYθ装置的贯穿孔，而固定平台的底面横设对应前述贯穿孔的埋线槽，将XYθ装置的驱动单元及位置感测器所连结的各缆线穿入贯穿孔并埋设于埋线槽内并连接于驱动单元输出端及位置感测器输出端，其后，再以一底盖封闭埋线槽并用接合件锁合于固定平台，达到XYθ装置的缆线收纳于固定平台底面。 

2.如权利要求1所述的埋线式对位对准机构，其特征在于，所述位置感测器通过缆线电性连接于位置感测器输出端，而所述驱动单元亦通过缆线电性连接于驱动单元输出端。 

3.如权利要求1所述的埋线式对位对准机构，其特征在于，所述控制器进一步包含有无线协调装置，所述无线协调装置具有一可收发无线参数的天线模块，以及通过一直流电源的输入与装置进行无线参数传输；所述位置感测器输出端更包含有无线传输模块，所述无线传输模块具有一可收发无线参数的天线模块，是电连接所述位置感测器输出端以接收位移信号转换成所述无线参数，以及通过一直流电源的输入与无线协调装置进行无线参数传输；而所述驱动单元输出端更包含有无线传输模块，所述无线传输模块具有一可收发无线参数的天线模块，分别电连接所述驱动单元输出端以接收驱动单元信号转换成所述无线参数，以及通过一直流电源的输入与无线协调装置进行无线参数传输。