[实用新型]埋线式对位对准机构

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种对位机构，特别是指一种将缆线埋入底座收纳的埋线式对位对准机构。 

背景技术

随着高科技产业的发展，精度的要求也愈来愈高，工具机、各种产业机械、量测仪器的高精度化，加上超精密加工机、半导体制程装置、电子资讯机器、原子力显微镜等机具的精度已经达到微/纳米等级。而其特征在于用以提供产制品进行移动对位机构是影响上述机具精度最主要的因素之一。 

目前各种机具上的对位机构，主要有串联式平台、并联式平台及四驱动平台，许多厂商提出机构改良、或配置方式以求得较佳的精密度，以制造出品质较佳的产品；然而，上述的对位平台皆以缆线连接XYθ装置、位置感测器及控制器，当缆线因移动造成弯折，缆线于弯折处就会破裂，可能造成信号传递不佳情况，更可能造成对位机构故障。又，由于对位机构的缆线都外露，不仅造成环境杂乱，缆线可能受油气、湿气影响下亦造成信号传递不佳或降低使用寿命。 

换言之，如何避免对准对位机构的缆线弯折破损、缆线受油气、湿气影响以及将缆线收纳整齐，是业界重要的讨论课题。 

发明内容

本实用新型的目的即在于提供一种埋线式对位对准机构，于固定平台底面设有埋线槽，将缆线设置于埋线槽中，避免缆线弯折破损。 

本实用新型的次一目的是在于提供一种埋线式对位对准机构，将缆线设置于埋线槽中，避免缆线受油气、湿气影响。 

本实用新型的另一目的是在于提供一种埋线式对位对准机构，将缆线收纳于固定平台底面，以增加环境整齐及增加缆线使用寿命。 

可达成上述实用新型目的的埋线式对位对准机构，包括一固定平台、多个设置固定平台上的XYθ装置，所述XYθ装置各具有一驱动单元与量测驱动单元一位移量的多个位置感测器，且所述XYθ装置通过缆线电性连接于一输出端，以及设置于各XYθ装置转动单元上的移动平台，以及通过缆线与输出端连接的控制器，所述固定平台设有多个对应XYθ装置的贯穿孔，而固定平台的底面横设对应前述贯穿孔的埋线槽，将XYθ装置的驱动单元及位置感测器所连结的各缆线穿入贯穿孔并埋设于埋线槽内并连接于驱动单元输出端及位置感测器输出端，其后，再以一底盖封闭埋线槽并用接合件锁合于固定平台，藉以，达到XYθ装置的缆线收纳于固定平台底面，以增加环境整齐及增加缆线使用寿命。 

其中，所述位置感测器以模块化设计通过缆线电性连接于位置感测器输出端，而所述驱动单元亦以模块化设计通过缆线电性连接于驱动单元输出端。 

其中，所述控制器进一步包含有无线协调装置，所述无线协调装置具有一可收发无线参数的天线模块，电连接所述控制器用以传输所述运动参数，以及通过一直流电源的输入与装置进行无线参数传输；所述位置感测器输出端更包含有无线传输模块，所述无线传输模块具有一可收发无线参数的天线模块，是电连接所述位置感测器输出端以接收位移信号转换成所述无线参数，以及通过一直流电源的输入与无线协调装置进行无线参数传输；而所述驱动单元输出端更包含有无线传输模块，所述无线传输模块具有一可收发无线参数的天线模块，分别电连接所述驱动单元输出端以接收驱动单元信号转换成所述无线参数，以及通过一直流电源的输入与无线协调装置进行无线参数传输。 

附图说明

图1为本实用新型埋线式对位对准机构的立体图。 

图2为本实用新型的立体分解图。 

图3为本实用新型的另一视角立体分解图。 

图4为本实用新型的俯视图。 

图5为本实用新型的仰视图。 

图6～9为所述埋线式对位对准机构的动作示意图。 

图10～11为本实用新型第二较佳实施例的方块示意图，说明所述控制器具有无线协调装置、位置感测器输出端及驱动单元输出端分别具有无线传输模块，由此可无线传输。 

图12～13为本实用新型第二较佳实施例的动作流程图，说明所述控制器具有无线协调装置、位置感测器输出端及驱动单元输出端的无线传输模块的操作流程。