[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201320142285.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203279170U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括线路板和MEMS声电芯片，MEMS声电芯片包括基底，其中，还包括声孔单元和通道，声孔单元包括进声孔和至少至少两个MEMS声电芯片上的振膜背洞声孔；进声孔和振膜背洞声孔之间通过通道连通；通道设置在基底上；MEMS声电芯片为由至少两个以上的芯片组成的芯片整体。本实用新型提供的MEMS麦克风能够解决声阻大、声压不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括线路板和MEMS声电芯片，所述MEMS声电芯片包括基底，其特征在于， MEMS麦克风还包括声孔单元和通道，所述声孔单元包括进声孔和至少两个MEMS声电芯片上的振膜背洞声孔； 所述进声孔和所述振膜背洞声孔之间通过所述通道连通；所述通道设置在所述基底上； 所述MEMS声电芯片为由至少两个以上的芯片组成的芯片整体。
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