[实用新型]离子收敛器及离子植布机有效
| 申请号： | 201320071347.6 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN203118903U | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 魏廷榤;张元河;蔡济全;庄锦贤;施介文;彭圣修 | 申请（专利权）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种离子收敛器及离子植布机。离子收敛器包括壳体、组合结构、磁场产生器以及固定环。组合结构固接于壳体的表面上。磁场产生器配置于壳体中。壳体的表面配置于组合结构与磁场产生器之间。组合结构配置于固定环与壳体的表面之间。组合结构包括多个板件。每一板件具有一边缘。板件的边缘围出一开口。固定环完全地暴露开口且覆每一板件的部分。此外，一种包括所述离子收敛器的离子植布机也被提出。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 收敛 植布机 | ||
【主权项】：
一种离子植布机，其特征在于，该离子植布机包括：离子源，提供多个离子；离子萃取器，自该离子源萃取该些离子并使该些离子形成一离子束；以及离子收敛器，配置于该离子束的传递路径上且收敛该离子束，该离子收敛器包括：壳体；组合结构，固接于该壳体的一表面上且与该壳体的该表面接触；以及固定环，该组合结构配置于该固定环与该壳体的该表面之间，该固定环位于该离子萃取器与该组合结构之间，该组合结构包括多个板件，每一该板件具有一边缘，该些板件的边缘围出一开口，该固定环完全地暴露该开口且覆盖每一该板件的部分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于力晶科技股份有限公司，未经力晶科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320071347.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
