[实用新型]离子收敛器及离子植布机

权利要求书

1.一种离子植布机，其特征在于，该离子植布机包括：

离子源，提供多个离子；

离子萃取器，自该离子源萃取该些离子并使该些离子形成一离子束；以及

离子收敛器，配置于该离子束的传递路径上且收敛该离子束，该离子收敛器包括：

壳体；

组合结构，固接于该壳体的一表面上且与该壳体的该表面接触；以及

固定环，该组合结构配置于该固定环与该壳体的该表面之间，该固定环位于该离子萃取器与该组合结构之间，该组合结构包括多个板件，每一该板件具有一边缘，该些板件的边缘围出一开口，该固定环完全地暴露该开口且覆盖每一该板件的部分。

2.如权利要求1所述的离子植布机，其特征在于，该组合结构整体的最大宽度大于该固定环的最大内径，而每一该板件的最大宽度小于该固定环的最大内径。

3.如权利要求1所述的离子植布机，其特征在于，每一该板件被该固定环所覆盖的该部分与该固定环之间存在一空隙。

4.如权利要求1所述的离子植布机，其特征在于，每一该板件具有一斜面，相邻的该些板件之一的斜面朝接近该壳体的该表面的方向倾斜，相邻的该些板件之另一的斜面朝远离该壳体的该表面的方向倾斜，而相邻的该些板件的该些斜面紧密地接触。

5.如权利要求1所述的离子植布机，其特征在于，该离子萃取器包括一萃取电极，该萃取电极具有一狭缝，该些离子通过该狭缝而形成该离子束，该些板件的边缘所围出的该开口的形状与该狭缝的形状相同，且该些板件的边缘所围出的该开口的尺寸大于该狭缝的尺寸。

6.如权利要求1所述的离子植布机，其特征在于，该些板件的边缘所围出的该开口的形状为一长方形，该长方形具有相对的二长边以及相对的二短边，该些板件包括沿顺时针方向依序排列的第一板件、第二板件、第三板件以及第四板件，该长方形的该些长边之一的大部分为该第一板件的边缘，该长方形的该些短边之一的大部分为该第二板件的边缘，该长方形的该些长边之另一的大部分为该第三板件的边缘，该长方形的该些短边之另一的大部分为该第四板件的边缘。

7.一种离子收敛器，包括：

壳体；

组合结构，固接于该壳体的一表面上且与该壳体的该表面接触；

磁场产生器，配置于该壳体中，且该壳体的该表面配置于该组合结构与该磁场产生器之间；以及

固定环，该组合结构配置于该固定环与该壳体的该表面之间，该组合结构包括多个板件，每一该板件具有一边缘，该些板件的边缘围出一开口，该固定环完全地暴露该开口且覆盖每一该板件的部分。

8.如权利要求7所述的离子收敛器，其特征在于，该组合结构整体的最大宽度大于该固定环的最大内径，而每一该板件的最大宽度小于该固定环的最大内径。

9.如权利要求7所述的离子收敛器，其特征在于，每一该板件被该固定环所覆盖的该部分与该固定环之间存在一空隙。

10.如权利要求7所述的离子收敛器，其特征在于，每一该板件具有一斜面，相邻的该些板件之一的斜面朝接近该壳体的该表面的方向倾斜，相邻的该些板件之另一的斜面朝远离该壳体的该表面的方向倾斜，而相邻该些板件的该些斜面紧密地接触。

11.如权利要求7所述的离子收敛器，其特征在于，该些板件的边缘所围出的该开口的形状为一长方形，该长方形具有相对的二长边以及相对的二短边，该些板件包括沿顺时针方向依序排列的第一板件、第二板件、第三板件以及第四板件，该长方形的该些长边之一的大部分为该第一板件的边缘，该长方形的该些短边之一的大部分为该第二板件的边缘，该长方形的该些长边之另一的大部分为该第三板件的边缘，该长方形的该些短边之另一的大部分为该第四板件的边缘。