[实用新型]离子收敛器及离子植布机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种离子收敛器及离子植布机，且特别是涉及一种包括组合结构的离子收敛器及离子植布机。

背景技术

二十世纪以来，各项尖端科技如航太科技、电子仪器以及各种功能的电脑的发展，对半导体元件和电路的生产要求具有更高的性能，原有的生产技术限制了半导体性能的进一步提高，离子注入技术正是反应这种需求而发展出来的一种半导体搀染新技术。离子注入是将具有一定能量的离子植入固体表面的方法，通过将原子引进固体基座的表面层或其中特定的位置，使得材料的表面和本体性能得到改善。目前，离子注入技术已广泛地应用于物理与材料科学的范畴。

一般而言，离子注入机的主要构造包括离子源、离子萃取器、离子收敛器、离子选择器（例如质谱仪）、加速腔体、靶室（target chamber）等。其中，离子源为产生各种离子的基本设备，其工作原理是将靶材物质游离，使其形成带正电或负电的离子，离子萃取器再通过引出电压将离子引出。然后，经由离子选择器选取所需的离子，使其进入加速腔体。进入加速腔体内的离子经加速腔体的电压加速至所需的能量之后，便传送至靶室，并通过聚焦与扫描系统将离子束植入安装于靶室的靶材上。

在离子传输过程中，离子易损伤及污染离子收敛器中的一挡板。为此操作者常需将离子收敛器中的挡板拆出清理或更换。然而，现有的挡板为一体成形且挡板的尺寸大过其前方的构件，因此操作者于保养离子收敛器时，需先拆卸挡板前方的构件方可取出挡板。此过程耗工耗时，且在拆卸过程中累积在挡板上的离子（例如磷离子）易和其他构件摩擦，而造成工安事件。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子植布机及离子收敛器，其保养所需的工时少。

为达上述目的，本实用新型提供一种离子植布机。此离子植布机包括离子源、离子萃取器以及离子收敛器。离子源提供多个离子。离子萃取器自离子源萃取离子并使这些离子形成离子束。离子收敛器配置于离子束的传递路径上且收敛离子束。离子收敛器包括壳体、组合结构以及固定环。组合结构固接于壳体的表面上且此表面接触。组合结构配置于固定环与壳体的表面之间。固定环位于离子萃取器与组合结构之间。组合结构包括多个板件。每一板件具有一边缘。这些板件的边缘围出一开口。固定环完全地暴露此开口且覆盖每一板件的部分。

本实用新型提供一种离子收敛器。此离子收敛器包括壳体、组合结构、磁场产生器以及固定环。组合结构固接于壳体的表面上且与此表面接触。磁场产生器配置于壳体中。壳体的表面配置于组合结构与磁场产生器之间。组合结构配置于固定环与壳体的表面之间。组合结构包括多个板件。每一板件具有一边缘。这些板件的边缘围出一开口。固定环完全地暴露此开口且覆盖每一板件的部分。

在本实用新型的一实施例中，上述的组合结构整体的最大宽度大于固定环的最大内径，而每一板件的最大宽度小于固定环的最大内径。

在本实用新型的一实施例中，上述的每一板件被固定环所覆盖的部分与固定环之间存在一空隙。

在本实用新型的一实施例中，上述的每一板件具有一斜面。相邻的板件之一的斜面朝接近壳体的表面的方向倾斜。相邻的板件之另一的斜面朝远离壳体的表面的方向倾斜。相邻的板件的斜面紧密地接触。

在本实用新型的一实施例中，上述的离子萃取器包括萃取电极。萃取电极具有一狭缝。离子通过狭缝而形成离子束。板件的边缘所围出的开口的形状与狭缝的形状相同。板件的边缘所围出的开口的尺寸大于狭缝的尺寸。

在本实用新型的一实施例中，上述的板件的边缘所围出的开口的形状为一长方形。此长方形具有相对的二长边以及相对的二短边。板件包括沿顺时针方向依序排列的第一板件、第二板件、第三板件以及第四板件。长方形的二长边之一的大部分为第一板件的边缘。长方形的二短边之一的大部分为第二板件的边缘。长方形的二长边之另一的大部分为第三板件的边缘。长方形的二短边之另一的大部分为第四板件的边缘。

本实用新型的优点在于，基于上述，在本实用新型一实施例的离子植布机及离子收敛器中，由于组合结构是采多片式的设计，因此操作者在保养离子收敛器时可不用拆卸组合结构之前的构件，便可快速地拆出组合结构，进而缩短保养离子收敛器所需的工时。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的离子植布机的示意图；

图2示出本实用新型一实施例的离子植布机中的离子源及离子萃取器；

图3示出图2的离子萃取器的萃取电极；

图4为本实用新型一实施例的离子植布机中的离子收敛器的立体示意图；