[实用新型]一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装有效
| 申请号： | 201320011003.6 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203007412U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 崔金;康志卫;罗中保;姚勇刚;蒋建纯 | 申请（专利权）人： | 湖南南方搏云新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人： | 姜芳蕊;宁星耀 |
| 地址： | 410100 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，包括活接头、连接管Ⅰ、连接管Ⅱ，所述连接管Ⅰ、连接管Ⅱ与活接头通过焊接固定或通过螺纹连接固定，连接管Ⅰ端部与设于化学气相沉积炉上配气环相连接。本实用新型加工制造容易，安装拆卸方便，导气可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 沉积 接头 工装 | ||
【主权项】：
一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，包括活接头、连接管Ⅰ、连接管Ⅱ，所述连接管Ⅰ、连接管Ⅱ与活接头通过焊接固定或通过螺纹连接固定，连接管Ⅰ端部与设于化学气相沉积炉上配气环相连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
