[发明专利]一种传输装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种传输装置及等离子体加工设备，该传输装置用于实现工艺腔室和装卸腔室之间的基片的传送，传输装置包括承载部和旋转驱动机构，其中承载部用于承载基片；旋转驱动机构的驱动轴与承载部相连接，旋转驱动机构用于驱动承载部围绕驱动轴旋转，以使承载部在旋转的过程中可分别位于工艺腔室内设置的预设位置和装卸腔室内设置的取放片位置。本发明提供的传输装置，其可以降低投入成本，从而可以提高经济效益。

主权项

1.一种传输装置，用于实现工艺腔室和装卸腔室之间的基片的传送，其特征在于，所述传输装置包括承载部和旋转驱动机构，所述承载部用于承载基片；所述旋转驱动机构的驱动轴与所述承载部相连接，所述旋转驱动机构用于驱动所述承载部围绕所述驱动轴旋转，以使所述承载部在旋转的过程中可分别位于所述工艺腔室内设置的预设位置和所述装卸腔室内设置的取放片位置；所述承载部相对所述驱动轴为摆臂结构，所述承载部包括固定端和延伸端，所述固定端与所述驱动轴固定，所述延伸端用于承载所述基片，所述延伸端沿水平方向朝远离所述驱动轴的方向延伸。