[发明专利]蒸镀设备及其蒸镀方法有效
| 申请号： | 201310746560.7 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103695848A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;崔伟;王路 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀设备及其蒸镀方法。该蒸镀设备包括依次设置的蒸发源、蒸汽循环机构以及喷射机构；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述蒸汽循环机构用于使所述蒸发源提供的有机蒸汽循环流动；所述喷射机构与所述蒸汽循环机构连通，用于将所述蒸汽循环机构中的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。本发明利用蒸汽循环机构使蒸发源提供的有机蒸汽循环流动起来，从而能够为喷射机构的各个位置尽可能均一的提供有机蒸汽；因此，喷射机构各个位置的喷嘴设置成相同的大小即可，而不必设置过小或者过小的喷嘴，从而在源头上解决了喷射机构容易出现堵塞故障的问题，大大提升蒸镀设备的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，包括依次设置的蒸发源、蒸汽循环机构以及喷射机构；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述蒸汽循环机构用于使所述蒸发源提供的有机蒸汽循环流动；所述喷射机构与所述蒸汽循环机构连通，用于将所述蒸汽循环机构中的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。
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