[发明专利]蒸镀设备及其蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括依次设置的蒸发源、蒸汽循环机构以及喷射机构；

所述蒸发源用于提供有机蒸汽；

所述蒸汽循环机构用于使所述蒸发源提供的有机蒸汽循环流动；

所述喷射机构与所述蒸汽循环机构连通，用于将所述蒸汽循环机构中的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸汽循环机构包括闭环的蒸汽循环管道以及用于驱动有机蒸汽在所述蒸汽循环管道中循环流动的驱动装置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸汽循环管道内设置有气压计。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括设置在所述蒸发源与蒸汽循环机构之间的蒸汽存储机构；

所述蒸汽存储机构用于存储所述蒸发源提供的有机蒸汽并可控的输入至所述蒸汽循环机构。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸汽存储机构的输出端设置有用于控制所述有机蒸汽输出流量的流量控制机构。

6.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括用于将所述蒸汽存储设备内的有机蒸汽维持在预定温度范围内的控温机构。

7.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括设置在所述蒸发源与蒸汽存储机构之间的蒸汽输运泵。

8.根据权利要求1-3或者5-7任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源为线性蒸发源。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述线性蒸发源包括蒸发容器以及线性加热源。

10.根据权利要求求1-3、5-7或者9任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括用于控制所述蒸镀设备整体温度的加热以及冷凝机构。

11.一种利用权利要求1-10中任意一项所述的蒸镀设备进行蒸镀的方法，其特征在于，包括：

对蒸发源进行加热，从而蒸发出有机蒸汽；

当需要进行蒸镀时，将所述有机蒸汽按照指定的流量输入至蒸汽循环机构，并使所述有机蒸汽循环流动；

将循环流动的所述有机蒸汽通过喷射机构以稳定的速率蒸镀到目标基板上。

12.根据权利要求11所述的方法，在所述蒸发出有机蒸汽之后且在所述进行蒸镀之前，还包括；

将所述有机蒸汽输运至蒸汽存储机构，直至蒸汽存储机构中的有机蒸汽压强达到预设压强值。

13.根据权利要求12所述的方法，在蒸镀过程中还包括：

控制蒸汽存储机构输出所述有机蒸汽的流量，以实现对蒸镀速率调整。

14.根据权利要求11-13中任意一项所述的方法，在蒸镀过程中还包括：

使所述目标基板保持一定的速度在所述喷射机构上方往复运动。