[发明专利]一种有机薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有机薄膜晶体管及其制备方法，其特征在于：晶体管是在设置有栅电极的基板上覆盖有绝缘层，在绝缘层上覆盖有表面修饰层，表面修饰层经紫外光照射后发生交联反应，在发生交联反应后的表面修饰层上设置有有机半导体层和与有机半导体层呈欧姆接触的源电极和漏电极，源电极和漏电极通过有机半导体层连通。本发明有机薄膜晶体管利用紫外光照表面修饰层，使高分子聚合物发生交联反应，在半导体层与栅绝缘层之间增加了高分子聚合物界面修饰层，从而避开了栅绝缘层上羟基基团的载流子陷阱，得到了很好的器件性能，并且大大降低了迟滞效应。

主权项

一种有机薄膜晶体管，其特征在于：所述晶体管是在设置有栅电极（2）的基板（1）上覆盖有绝缘层（3），在绝缘层（3）上覆盖有表面修饰层（4），所述表面修饰层（4）经紫外光照射后发生交联反应，在发生交联反应后的表面修饰层上设置有有机半导体层（5）和与所述有机半导体层呈欧姆接触的源电极(6)和漏电极(7)，所述源电极(6)和漏电极(7)通过有机半导体层（5）连通。