[发明专利]一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，将基片进行亲水性处理，然后浸入浓度为0.01mol/L-0.5mol/L的钼离子的溶液，取出，将基片浸入漂洗液A中30秒至30分钟，取出，再浸入硫化钠浓度在0.01mol/L-0.5mol/L的含硫离子的溶液15秒至5分钟，取出；将基片浸入漂洗液B中30秒至30分钟，取出，干燥样品，或重复前述步骤数次后干燥样品，样品完全干燥后，将其在惰性气氛下或惰性气体与气态硫混合气氛下退火。本发明所述的制备方法具有成本低、操作简单、重现性好、引入杂质少、易于实现批量化生产制造的特点。

主权项

一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，其特征是，包括步骤如下：（1）将基片进行亲水性处理：将基片置于沸腾的食人鱼洗液中10‑30分钟，然后在大量去离子水中清洗；（2）浸入含有钼离子的溶液：配制浓度为0.01mol/L‑0.5mol/L的钼离子的溶液，将步骤（1）清洗后的基片浸入含有钼离子的溶液中15秒至5分钟，取出；（3）漂洗：将基片浸入漂洗液A中30秒至30分钟，取出，漂洗液A为二甲基甲酰胺、或水、或乙醇、或丙酮、或水与乙醇的任意比例混合液、或水与甲醇的任意比例混合液；（4）浸入含有硫离子的溶液：配制硫化钠浓度在0.01mol/L‑0.5mol/L的含硫离子的溶液，将基片浸入含有硫离子的溶液中15秒至5分钟，取出；（5）漂洗：将基片浸入漂洗液B中30秒至30分钟，取出，漂洗液B为水、或乙醇、或甲醇、或水与乙醇的任意比例混合液、或水与甲醇的任意比例混合液；（6）干燥样品，或重复（2）‑（5）步骤数次后干燥样品，样品完全干燥后，将其在惰性气氛下或惰性气体与气态硫混合气氛下退火。