[发明专利]一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，其特征是，包括步骤如下：

（1）将基片进行亲水性处理：将基片置于沸腾的食人鱼洗液中10-30分钟，然后在大量去离子水中清洗；

（2）浸入含有钼离子的溶液：配制浓度为0.01mol/L-0.5mol/L的钼离子的溶液，将步骤（1）清洗后的基片浸入含有钼离子的溶液中15秒至5分钟，取出；

（3）漂洗：将基片浸入漂洗液A中30秒至30分钟，取出，漂洗液A为二甲基甲酰胺、或水、或乙醇、或丙酮、或水与乙醇的任意比例混合液、或水与甲醇的任意比例混合液；

（4）浸入含有硫离子的溶液：配制硫化钠浓度在0.01mol/L-0.5mol/L的含硫离子的溶液，将基片浸入含有硫离子的溶液中15秒至5分钟，取出；

（5）漂洗：将基片浸入漂洗液B中30秒至30分钟，取出，漂洗液B为水、或乙醇、或甲醇、或水与乙醇的任意比例混合液、或水与甲醇的任意比例混合液；

（6）干燥样品，或重复（2）-（5）步骤数次后干燥样品，样品完全干燥后，将其在惰性气氛下或惰性气体与气态硫混合气氛下退火。

2.根据权利要求1所述的一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，其特征是，步骤（1）所述的基片为钠钙玻璃、石英、Si片、或Si+SiO₂基片。

3.根据权利要求1所述的一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，其特征是，步骤（2）所述的钼离子的溶液溶质为氯化钼、双-（环戊二烯）-二氯化钼、或乙酰丙酮钼；溶剂为二甲基甲酰胺、水、乙醇、丙酮、0.01-10mol/L的硫酸水溶液、0.01-8mol/L盐酸水溶液、或者水与乙醇的任意比例混合液、或水与甲醇的任意比例混合溶液。

4.根据权利要求1所述的一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，其特征是，步骤（4）所述的含硫离子的溶液，溶质为硫化钠，溶剂为水与甲醇任意比例的混合液。

5.根据权利要求1所述的一种单分子层/多分子层二硫化钼薄膜的制备方法，其特征是，步骤（5）所述的退火气氛气压选100Torr至800Torr，退火温度选500℃至1400℃，退火时间10至300分钟。