[发明专利]一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备在审
| 申请号： | 201310718591.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN104711540A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;汪洋 | 申请（专利权）人： | 南京沙壳新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/32 | 分类号： | C23C16/32 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 211200 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备，其特征在于包括上下两段，上段为高温热解炉，下段为中温热解炉。高温热解炉采用感应加热方式，温度的范围为1600～2500℃，中温热解炉采用电阻加热方式，温度的范围为800～1600℃。在使用过程中中温热解的残余尾气直接进入高温热解区，二次分解，路体内温度梯度过渡，不会导致中温热解产物在两个炉中间转移过程冷凝。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 化学 沉积 纳米 金刚砂 设备 | ||
【主权项】：
一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备，其特征在于包括上下两段，上段为高温热解炉，下段为中温热解炉。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
