[发明专利]沉积设备有效
| 申请号： | 201310647758.X | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104099573B | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 金保云;赵相圭;吴准植;金建植;吴仙英 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 王占杰,刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种沉积设备包括基底支承件，构造为支承基底；沉积源，构造为供应沉积材料；传感器单元，构造为感测沉积材料的沉积量；第一防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第一磁单元；第二防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第二磁单元；和第三防附着板，结合到第一防附着板和第二防附着板，处于传感器单元下面，并且包括一个或多个第三磁单元，其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板通过第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元彼此结合，毗邻第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元中的各个磁单元，并且其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板共同地覆盖传感器单元的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种沉积设备，所述沉积设备包括：基底支承件，构造为支承基底；沉积源，构造为向基底供应沉积材料；传感器单元，构造为接收沉积材料的一部分，以感测沉积材料的沉积量；第一防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第一磁单元；第二防附着板，结合到传感器单元并且包括一个或多个第二磁单元，第二防附着板相对于传感器单元与第一防附着板相对；和第三防附着板，结合到第一防附着板和第二防附着板，处于传感器单元下方，并且包括一个或多个第三磁单元，其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板通过第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元在第一磁单元、第二磁单元和第三磁单元中的相应的磁单元附近彼此结合，并且其中，第一防附着板、第二防附着板和第三防附着板共同地覆盖传感器单元的一部分。
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