[发明专利]方块电阻测量设备及吸盘有效
| 申请号： | 201310631418.8 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103645381A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 叶青;刘玮;徐伯山;周峻晨;倪战平;冯君;吕杰;黄磊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种方块电阻测量设备及吸盘，属于集成电路领域。测量设备包括：吸盘，所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路，所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔，多个所述真空气路与所述真空孔连通，在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构；真空气管，所述真空气管与所述吸盘内腔中的真空气路相通，再通过所述气体控制机构控制所述真空气路的真空气压，维持所述吸盘吸附晶圆时需要的真空气压。本发明的下述实施例中，通过在真空气路中有选择性的设置气体控制机构比如一气动阀，用于通过开关状态，控制所述真空气路的真空气压，维持吸盘吸附晶圆所需的真空气压，使得晶圆可以牢固的吸附在吸盘上，避免了在晶圆的量测过程中报警现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 方块 电阻 测量 设备 吸盘 | ||
【主权项】：
一种方块电阻测量设备，其特征在于，包括：吸盘，所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路，所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔，多个所述真空气路与所述真空孔连通，在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构；真空气管，所述真空气管与所述吸盘内腔中的真空气路相通，再通过所述气体控制机构控制所述真空气路的真空气压，维持所述吸盘吸附晶圆时需要的真空气压。
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