[发明专利]方块电阻测量设备及吸盘有效
| 申请号： | 201310631418.8 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103645381A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 叶青;刘玮;徐伯山;周峻晨;倪战平;冯君;吕杰;黄磊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 方块 电阻 测量 设备 吸盘 | ||
1.一种方块电阻测量设备，其特征在于，包括：
吸盘，所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路，所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔，多个所述真空气路与所述真空孔连通，在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构；
真空气管，所述真空气管与所述吸盘内腔中的真空气路相通，再通过所述气体控制机构控制所述真空气路的真空气压，维持所述吸盘吸附晶圆时需要的真空气压。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，根据晶圆发生变形的可能部位来设置所述气体控制机构。
3.根据权利要求2所述的设备，当晶圆的外延发生翘起变形，则仅在所述吸盘表面最外围所述真空孔对应的所述真空气路中设置所述气体控制机构。
4.根据权利要求2所述的设备，在所述吸盘的内腔中每条所述真空气路中均设置气体控制机构。
5.根据权利要求1-3任一所述的设备，其特征在于，所述气体控制机构为一气动阀，用于通过开关状态，控制所述真空气路的真空气压。
6.一种吸盘，其特征在于，所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路，所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔，多个所述真空气路与所述真空孔连通，在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构。
7.根据权利要求6所述的吸盘，其特征在于，根据晶圆发生变形的可能部位来设置所述气体控制机构。
8.根据权利要求6所述的吸盘，当晶圆的外延发生翘起变形，则仅在所述吸盘表面最外围所述真空孔对应的所述真空气路中设置所述气体控制机构。
9.根据权利要求6所述的吸盘，在所述吸盘的内腔中每条所述真空气路中均设置气体控制机构。
10.根据权利要求6-9任一所述的吸盘，其特征在于，所述气体控制机构为一气动阀，用于通过开关状态，控制所述真空气路的真空气压。
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