[发明专利]一种MEMS麦克风缺陷监控结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种MEMS麦克风监控结构，包括具有腔体的衬底；第一介质层，具有与腔体相通的通孔；下电极层，包括振动膜及与之相连的第一引出部；第二介质层；上电极层及绝缘层，绝缘层具有其中形成多个开孔的主体部，上电极层包括第二引出部以及在开孔下方形成的多个互不相连的朝向振动膜延伸的具有中空部的下凹结构，下凹结构与绝缘层的主体部构成背电极结构；下凹结构的截面为凹字形，其底部与振动膜平行，与振动膜形成多个平板电容；空气隙，形成于振动膜与背电极结构之间；以及释放孔，形成于背电极结构中，与空气隙及通孔连通。本发明能够方便地测量振动膜振动状态下不同区域的变形情况。

主权项

1.一种MEMS麦克风的缺陷监控结构，其特征在于，包括：衬底，其具有腔体；第一介质层，形成于所述衬底上表面，具有与所述腔体相通的通孔；下电极层，包括振动膜及与之相连的第一引出部，所述振动膜位于所述通孔的上方；第二介质层，位于所述振动膜以外区域的第一介质层和下电极层上方；依次位于所述第二介质层上的上电极层及绝缘层，所述绝缘层具有主体部，所述主体部中形成多个开孔，所述上电极层包括第二引出部以及在所述开孔下方形成的多个朝向所述振动膜延伸的具有中空部的下凹结构，所述下凹结构与所述绝缘层的主体部构成背电极结构；其中所述下凹结构的截面为凹字形，其底部与所述振动膜平行；所述多个下凹结构互不相连，且通过多个所述第二引出部分别引出；所述多个下凹结构的底部与所述振动膜形成多个平板电容；空气隙，形成于所述振动膜与所述背电极结构之间；以及释放孔，形成于所述背电极结构中，与所述空气隙连通。