[发明专利]一种具有温度测量功能的光纤压力传感器

摘要

本发明涉及光纤压力传感器技术领域，具体涉及一种具有温度测量功能的光纤压力传感器。本发明的光纤压力传感器结构简单，体积小，重量轻，灵敏度高并且可调，安装使用方便，可以应用于石油、航空、化工等领域。与现有技术相比，本发明利用半导体硅测温层测量温度，对传感器压力测量结果进行实时校正，改善了传统的光纤光栅在长期高温环境下会逐渐弱化甚至消失的问题，具有更高的测量精度。

主权项

一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：该压力传感器传感头包括膜片、温度测量层、腔底、胶黏剂和导光光纤；腔底的顶端开有一凹槽，凹槽底部溅射或蒸镀有温度测量层，膜片与腔底通过阳极键合的方式结合在一起，膜片与凹槽之间形成F‑P真空腔；腔底的底端钻有喇叭孔，喇叭孔的内壁粘结有一层胶黏剂，喇叭孔内放置导光光纤。