[发明专利]一种具有温度测量功能的光纤压力传感器无效
| 申请号： | 201310606371.X | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103644988A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 张慧君;张力;段玉培;黄彩霞 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L1/26;G01L11/02;G01L19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 温度 测量 功能 光纤 压力传感器 | ||
1.一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：该压力传感器传感头包括膜片、温度测量层、腔底、胶黏剂和导光光纤；
腔底的顶端开有一凹槽，凹槽底部溅射或蒸镀有温度测量层，膜片与腔底通过阳极键合的方式结合在一起，膜片与凹槽之间形成F-P真空腔；
腔底的底端钻有喇叭孔，喇叭孔的内壁粘结有一层胶黏剂，喇叭孔内放置导光光纤。
2.根据权利要求1所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：膜片的组成材料为单晶硅晶圆，进行双面抛光减薄，其厚度可以根据压力测量范围和灵敏度决定。
3.根据权利要求1所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：温度测量层的组成材料为硅。
4.根据权利要求1所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：腔底的组成材料为Pyrex玻璃晶圆，进行双面抛光减薄。
5.一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：该压力传感器传感头包括膜片、温度测量层、腔底、胶黏剂、导光光纤和准直管；
腔底的顶端开有一凹槽，凹槽底部溅射或蒸镀有温度测量层，膜片与腔底通过阳极键合的方式结合在一起，膜片与凹槽之间形成F-P真空腔；
准直管与腔底的底端通过胶黏剂固定连接；
准直管的底端钻有圆孔，圆孔的内壁粘结有一层胶黏剂，圆孔内放置导光光纤。
6.根据权利要求5所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：膜片的组成材料为单晶硅晶圆，进行双面抛光减薄，其厚度可以根据压力测量范围和灵敏度决定。
7.根据权利要求5所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：温度测量层的组成材料为硅。
8.根据权利要求5所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：腔底的组成材料为Pyrex玻璃晶圆，进行双面抛光减薄。
9.根据权利要求5所述的一种具有温度测量功能的光纤压力传感器，其特征在于：准直管7为玻璃圆柱体。
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