[发明专利]一种原子层沉积前驱体输出装置

摘要

本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞（104），以及控制输出主管路的第二开关阀（105）构成。本发明通过固定空间的气体体积变化，每次稳定的排出等量前驱体，保证定量输出前驱体，能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。

主权项

一种原子层沉积前驱体输出装置，其特征在于：所述输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞（104），以及控制输出主管路的第二开关阀（105）构成；开启第一开关阀（102）后，所述钢瓶（101）中前驱体分子自由扩散至所述缓存腔（103）中并维持固定空间的体积，然后关闭所述第一开关阀（102）并开启第二开关阀（105），所述活塞（104）运动将所述缓存腔内气体分子经由所述第二开关阀（105）推进主管路。