[发明专利]用于对准基板的装置

摘要

本发明公开了用于对准基板(200)的装置(100)。所述装置包括两个或两个以上传送单元(120)，每一传送单元(120)包含两个或两个以上支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)，所述支持元件被配置以围绕第一旋转轴(400)旋转以传送基板(200)，其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包括锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支持基板(200)的侧表面(151;161,162;171;181;191;196)。

主权项

一种用于对准基板(200)的装置(100)，包含：两个或两个以上传送单元(120)，每一传送单元(120)包含两个支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)，所述支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)被配置以围绕第一旋转轴(400)旋转以传送所述基板(200)，其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包含一个或多个锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支持所述基板(200)的侧表面(151；161,162；171；181；191；196)，其中每一传送单元(120)的所述两个支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)是沿着所述第一旋转轴(400)彼此以距离(d1‑d5)布置；且一个传送单元(120)的所述两个支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)距彼此布置的所述距离(d1‑d5)大于一个相邻所述传送单元(120)的所述两个支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)距彼此布置的距离(d1‑d5)。