[发明专利]一种机械手自动示教系统及方法在审
| 申请号： | 201310562249.7 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN104626147A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王继周;张爽 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J13/08;B25J11/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及使用机械手对晶圆等产品进行传输的半导体生产制造领域，具体是一种机械手自动示教系统及方法，机械手无线通信模块连接机械手控制器，接收机械手控制器发出的控制信号，与机械手控制器进行通信；机械手连接机械手无线通信模块，接收机械手无线通信模块的控制信号，移动到目标位置；无线通信晶圆工具连接机械手，接收控制信号后进行图像识别。本发明能够实现承担输送晶圆的机械手中心与输送单元中心的自动对准，并自动保存输送单元中心位置信息的功能，达到提高定位精度，节省作业时间及防止人为失误造成设备损坏的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 自动 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种机械手自动示教系统，其特征在于：机械手无线通信模块连接机械手控制器，接收机械手控制器发出的控制信号，与机械手控制器进行通信；机械手连接机械手无线通信模块，接收机械手无线通信模块的控制信号，移动到目标位置；无线通信晶圆工具连接机械手，接收控制信号后进行图像识别。
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