[发明专利]制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器有效
| 申请号： | 201310532722.7 | 申请日： | 2006-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103823082B | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | H.凯斯马 | 申请（专利权）人： | 穆拉塔电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 周心志,杨国治 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器。其中，本发明涉及用于测量加速度的测量装置，更具体而言涉及电容式加速度传感器。本发明的目的是提供一种改进的制造电容式加速度传感器的方法，并且提供一种电容式加速度传感器，其适合于在小型电容式加速度传感器方案中使用，并且特别适合于在测量关于若干条轴线的加速度的小型和极薄的电容式加速度传感器方案中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 电容 加速度 传感器 方法 | ||
【主权项】：
一种用于由晶片元件制造出电容式加速度传感器的方法，在所述方法中，在中心晶片上制造出形成了移动电极的惯性质量块(34)，形成弹簧轴线的扭簧(39)支撑着所述惯性质量块；其特征在于：在第二晶片上制造两个测量电极(37, 38)，所述两个测量电极相对于所述扭簧(39)和所述惯性质量块(34)对称地定位成面向所述惯性质量块(34)的第一侧，在所述加速度传感器的惯性质量块(34)中，在第二侧，即与所述第一侧相反的一侧，制造有一个或多个非对称定位的减轻特征(40, 41)，这是通过除去在所述一个或多个减轻特征(40, 41)处的一些惯性质量块制造而成的，所述一个或多个减轻特征(40, 41)被制作为空穴，所述空穴延伸到所述惯性质量块(34)内但不延伸穿过所述惯性质量块(34)；所述弹簧轴线在所述惯性质量块的纵向方向上对称地、并且在所述惯性质量块的厚度方向上非对称地定位。
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