[发明专利]转移单元及其控制方法、及利用其处理基板的装置与方法

摘要

本发明提供了一种转移单元。该转移单元包括：机械手，其转移基板；以及控制器，其根据在预设期间通过机械手待转移的基板的数量来控制机械手的速度。当在预设期间待转移的基板的数量增加时，通过控制器使机械手的移动速度增大。

主权项

一种转移单元，其包括；机械手，其转移基板；以及控制器，其根据在预设期间待通过所述机械手转移的基板的数量来控制所述机械手的速度，其中，在预设期间待转移的基板的数量增加，通过所述控制器使所述机械手的移动速度增大；所述转移单元还包括沿着一个方向布置的导轨，其中，所述机械手包括：安装板，其沿着所述导轨线性可移动；支撑件，其竖直地布置并且联接到所述安装板；臂，其沿着所述支撑件竖直地可移动，所述臂围绕所述支撑件可旋转并且向前与向后可移动；以及指针，其上布置有所述基板，所述指针联接到所述臂的前端，其中，所述控制器控制所述安装板的线性移动速度、所述臂的竖直移动速度、所述臂的旋转速度、以及所述臂的向前/向后移动速度中的仅一个的速度，以使所述一个速度增大；所述控制器控制在所述安装板的线性移动速度、所述臂的竖直移动速度、所述臂的旋转速度、以及所述臂的向前/向后移动速度中具有最长移动距离的部件的移动速度，以使所述部件的移动速度增大。