[发明专利]一种水基硅片清洗剂及其制备方法无效
| 申请号： | 201310528004.2 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103571644A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 郭万东;孟祥法;董培才 | 申请（专利权）人： | 合肥中南光电有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/83 | 分类号： | C11D1/83;C11D3/60;C11D3/36 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 231600 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种水基硅片清洗剂，由下列重量份的原料制成：硼酸钠2-3、焦磷酸钾1-2、椰子油烷基醇酰胺磷酸酯3-4、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠4-5、柠檬酸2-3、乙醇30-40、助剂4-5、去离子水100-120。本发明的清洗剂对有机物、金属离子、颗粒等有快速的清除能力，对硅片无腐蚀；损耗更少，降低成本,节约时间、从而大大的减少硅片废品率,以及更快的制造出数量更多的,质量更好的硅片。本发明的助剂能够在硅片表面形成保护膜，隔绝空气，防止大气中水及其他分子腐蚀硅片，抗氧化，方便下一步制作工艺进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 洗剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种水基硅片清洗剂，其特征在于由下列重量份的原料制成：硼酸钠2‑3、焦磷酸钾1‑2、椰子油烷基醇酰胺磷酸酯3‑4、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠4‑5、柠檬酸2‑3、乙醇30‑40、助剂4‑5、去离子水100‑120；所述助剂由下列重量份的原料制成：硅烷偶联剂KH‑570 2‑3、抗氧剂1035 1‑2、植酸1‑2、吗啉3‑4、甲基丙烯酸‑2‑ 羟基乙酯3‑4、乙醇12‑15；制备方法是将硅烷偶联剂KH‑570 、植酸、乙醇混合，加热至60‑70℃，搅拌20‑30分钟后，再加入其它剩余成分，升温至80‑85℃，搅拌30‑40分钟，即得。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥中南光电有限公司，未经合肥中南光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310528004.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种治疗骨折的药剂
- 下一篇：纸页类管理装置以及纸页类管理方法
