[发明专利]近距离耦合喷淋头及反应腔室

摘要

本发明公开了一种近距离耦合喷淋头及反应腔室。所述近距离耦合喷淋头包括第一气体管道和第二气体管道，用于将反应气体引出至反应区域，所述近距离耦合喷淋头具有朝向反应区域的出气面，所述第一气体管道和第二气体管道贯穿所述出气面，所述出气面沿半径方向被均匀分为多个区域，在每个所述区域中，所述第一气体管道的出气口成条状排布形成第一气孔排，所述第二气体管道的出气口成条状排布形成第二气孔排，所述第一气孔排和第二气孔排间隔设置。出气口呈条状排布，简化了近距离耦合喷淋头的复杂程度，使得制造过程变得简单；通过将出气面均匀分为多个区域，有利于保证反应气体的均匀性。

主权项

一种近距离耦合喷淋头，用于向反应腔室的反应区域提供反应气体，所述近距离耦合喷淋头至少包括第一气体管道和第二气体管道，用于将反应气体引出至反应区域，其特征在于，所述近距离耦合喷淋头具有朝向反应区域的出气面，所述第一气体管道和第二气体管道贯穿所述出气面，所述出气面沿半径方向被均匀分为多个区域，在每个所述区域中，所述第一气体管道的出气口成条状排布形成第一气孔排，所述第二气体管道的出气口成条状排布形成第二气孔排，所述第一气孔排和第二气孔排间隔设置。