[发明专利]一种芯片缺陷的检测方法在审
| 申请号： | 201310506695.6 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103604814A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片缺陷的检测方法，包括如下步骤：提供一芯片组和一光学检测设备；设定第一焦距值，所述光学检测设备采用所述第一焦距值对所述芯片组进行起始扫描，并将起始扫描结果存储在数据库中；设定第二焦距值，所述光学检测设备采用所述第二焦距值对所述芯片组进行返回扫描，并将返回扫描结果存储在数据库中；叠加所述数据库中的起始扫描结果和返回扫描结果，并将叠加后的扫描结果和芯片的正常扫描结果进行比对来确定缺陷的位置。采用本发明的芯片缺陷的检测方法，提高了芯片缺陷检测的精度，且操作简单方便，从而提高了芯片缺陷检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种芯片缺陷的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，提供一芯片组和一光学检测设备；S2，设定第一焦距值，所述光学检测设备采用所述第一焦距值对所述芯片组进行起始扫描，并将起始扫描结果存储在数据库中；S3，设定第二焦距值，所述光学检测设备采用所述第二焦距值对所述芯片组进行返回扫描，并将返回扫描结果存储在数据库中；S4，叠加所述数据库中的起始扫描结果和返回扫描结果，并将叠加后的扫描结果和芯片的正常扫描结果进行比对来确定缺陷的位置。
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