[发明专利]一种抗高过载的MEMS陀螺有效
| 申请号： | 201310505577.3 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103557853A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陈璞;郭群英;黄斌;王鹏;陈博;王文婧;何凯旋;刘磊;徐栋;吕东锋;庄须叶 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抗高过载的MEMS陀螺，硅片中设有质量块（6），它通过连接梁（1）固支于锚点（7），在质量块（6）的四周对称分布着带有防撞凸点（4）的固定块（3），质量块（6）中心掏空区域设置有带防撞凸点（5）的中心固定块（2），其特征在于：所述质量块（6）上设有一组网格空腔（6a）。本发明具有如下优点：网格空腔质量块的侧壁在碰撞过程中起到了弹性过载保护面的作用，它和防撞凸点共同作用可以释放高冲击产生的高冲击力，有效保护器件敏感结构，提高了器件抗高过载能力。本发明结构简单，采用单晶硅片材料，提高了MEMS陀螺产品的一致性和可靠性，加工工艺比较简单，适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过载 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
一种抗高过载的MEMS陀螺，包括在玻璃衬底（8）上键合的硅片（11），硅片（11）上面连接盖帽（10），硅片（11）中设有质量块（6），它通过连接梁（1）固支于锚点（7），在质量块（6）的四周对称分布着带有防撞凸点（4）的固定块（3），质量块（6）中心掏空区域设置有带防撞凸点（5）的中心固定块（2），其特征在于：所述质量块（6）上设有一组网格空腔（6a）。
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