[发明专利]一种LED芯片及其加工工艺在审
申请号: | 201310501616.2 | 申请日: | 2013-10-23 |
公开(公告)号: | CN103515504A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 冯亚萍;张溢;金豫浙;李佳佳;李志聪;孙一军;王国宏 | 申请(专利权)人: | 扬州中科半导体照明有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 江平 |
地址: | 225009 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种LED芯片及其加工工艺,属半导体光电子器件制造技术领域,对外延片基片上的P型氮化物层刻蚀裸露出N型氮化物层;在P型电极焊盘区域下面制作电流阻挡层,刻蚀保留P型电极焊盘区域下面绝缘物质、N型电极焊盘和扩展电极与P型氮化物层直接接触的绝缘物质和P型氮化物和量子阱侧壁的绝缘物质;在基片表面沉积ITO薄膜,再光刻制成电流扩展层、合金,再在基片表面蒸镀金属层,剥离后部分金属层后,形成P型电极焊盘、N型电极焊盘和N金属扩展电极。产品的P电极焊盘和N电极焊盘均位于P型出光面之上,高度相同;N金属扩展电极部分或全部与部分N型氮化物层直接接触。本发明方便打线,提高氮化物基底LED芯片的亮度和光提取效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 芯片 及其 加工 工艺 | ||
【主权项】:
一种LED芯片,包括依次设置的衬底层、N型氮化物层、量子阱层和P型氮化物层,还包括N金属扩展电极、P电极焊盘和N电极焊盘,其特征在于所述P电极焊盘和N电极焊盘分别设置在P型氮化物层外,所述P电极焊盘和N电极焊盘设置在同一高度上,所述N金属扩展电极的部分或全部与N型氮化物层直接接触。
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