[发明专利]激光光伏电池及其制作方法

摘要

本申请公开了一种激光光伏电池，包括半绝缘衬底以及依次形成于所述半绝缘衬底上的导电层、势垒层、PN结、窗口层和接触层，所述的接触层上形成有上电极，所述的半绝缘衬底沿竖直方向贯穿形成有下电极窗口，下电极窗口与导电层的底面接触，所述导电层暴露于所述下电极窗口内的底面上设有下电极。本发明还公开了一种激光光伏电池的制作方法。本发明在半绝缘衬底背面刻蚀下电极窗口，通过在吸收层下方制作大面积欧姆接触，与传统激光光伏器件中从正面引出下电极的情形相比，由于避免了下电极接触层中电荷的长距离横向传输，减小了器件的串联电阻，提高了电池的性能。

主权项

一种激光光伏电池，其特征在于，包括半绝缘衬底以及依次形成于所述半绝缘衬底上的导电层、势垒层、PN结、窗口层和接触层，所述的接触层上形成有上电极，所述的半绝缘衬底沿竖直方向贯穿形成有下电极窗口，下电极窗口与导电层的底面接触，所述导电层暴露于所述下电极窗口内的底面上设有下电极。