[发明专利]沉积装置、薄膜形成方法和制造有机发光显示装置的方法

摘要

公开沉积装置、薄膜形成方法和制造有机发光显示装置的方法。一种用于通过使用关于基板的掩膜执行沉积过程的沉积装置包括：室；在所述室中的支撑单元，所述支撑单元包括第一孔并且被配置为支撑所述基板；供应单元，被配置为向所述基板供应至少一种沉积原材料；和通过所述支撑单元的所述第一孔的能移动的对齐单元，所述对齐单元被配置为支撑所述掩膜，并且将所述掩膜关于所述基板对齐。

主权项

1.一种用于通过使用与基板有关的掩膜执行沉积过程的沉积装置，该沉积装置包括：沉积室，包括在所述沉积室的下部处的透明窗；在所述沉积室中的支撑单元，包括顶表面和延伸通过所述顶表面的第一孔，所述基板由所述顶表面支撑；供应单元，被配置为向所述基板供应至少一种沉积原材料；和通过所述支撑单元的所述第一孔的能移动的对齐单元，所述对齐单元被配置为支撑所述掩膜，并且将所述掩膜与所述基板对齐；在所述沉积室的所述下部的对齐确认构件，所述对齐确认构件通过所述沉积室的所述透明窗确认所述基板和所述掩膜的对齐状态。