[发明专利]一种Z轴MEMS电容式陀螺仪

摘要

本发明公开了一种Z轴MEMS电容式陀螺仪，包括母质量块，子质量块，驱动电容组，检测电容组，敏感电容组，基底，中央耦合结构，杠杆，锚点以及弹性梁，驱动、检测电容组的固定梳齿固定在基底上，可动梳齿与母质量块连接；敏感电容组的固定梳齿固定在基底上，可动梳齿通过弹性梁分别与子质量块和杠杆连接；母质量块通过弹性梁连接至锚点，子质量块通过弹性梁与中央耦合结构相连；中央耦合结构通过弹性梁与杠杆相连；杠杆通过弹性梁固定在锚点上。本发明涉及的Z轴MEMS电容式陀螺仪具有体积小，低成本，高精度，抗震性好，集成性好的特点。

主权项

一种Z轴MEMS电容式陀螺仪，其特征在于：包括基底，一对母质量块，至少一对驱动电容组，至少一对敏感电容组，中央耦合结构，一对杠杆以及锚点，其中所述每个母质量块包括两个子质量块；所述母质量块通过弹性梁在与该母质量块相对应的锚点处连接于基底；所述至少一对驱动电容组，用于形成驱动电极，接收外围电路提供的驱动信号，使所述该对母质量块沿同一轴向做相反方向的运动；所述中央耦合结构，通过弹性梁耦接于两母质量块之间，用于保证所述两母质量块以相同的频率沿同一轴向做相反方向的运动；所述杠杆，分别耦接于中央耦合结构和敏感电容之间，并通过弹性梁在与该杠杆相对应的锚点处连接于基底；所述杠杆、中央耦合结构和母质量块被配置为，在无施加垂直于所述母质量块运动方向的角速度时，保持所述敏感电容组的可动梳齿不动，从而不提供用于测定外加角速度值的敏感信号；在施加垂直于所述母质量块运动方向的角速度时，限制连接于所述敏感电容组的可动梳齿的子质量块的同向运动，从而提供用于测定外加角速度值的敏感信号。