[发明专利]一种三轴微机械陀螺仪

摘要

本发明涉及一种三轴微机械陀螺仪，包括基板和固定安装在基板上的陀螺仪主体。其中陀螺仪主体包括平面检测单元和z轴检测单元，平面检测单元包括支撑结构、驱动电极和第一质量块；z轴检测单元由两个模块组成，沿x轴以基板中心点对称分布，每个模块包括支撑梁、解耦梁、驱动梁、第二质量块和检测电极。本发明陀螺仪整体结构采用单驱动设计，采用梳齿电极驱动，平面内x轴和y轴通过平板电容检测，z轴通过梳齿电容检测，x、y和z轴均实现了驱动和检测的解耦；本发明陀螺仪结构紧凑、制作工艺简单、成本低廉、具有较高性能，能实现良好的测量精度和灵敏度。

主权项

一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：包括基板（1）和固定安装在基板（1）上的陀螺仪主体（2），其中陀螺仪主体（2）包括平面检测单元和z轴检测单元；所述平面检测单元包括支撑结构（3）、驱动电极（4）和第一质量块（5），其中第一质量块（5）包括两个沿y轴分布的x轴检测质量块（x1、x2）和两个沿x轴分布的y轴检测质量块（y1、y2），且所述四个质量块以基板（1）中心点对称分布，所述支撑结构（3）与第一质量块（5）相连，所述驱动电极（4）与第一质量块（5）连接，此外基板（1）上对应第一质量块（5）的位置制作金属层，形成平面检测电极板（6）；所述z轴检测单元由两个模块组成，沿x轴以基板（1）中心点对称分布，每个模块包括支撑梁（7）、解耦梁（8）、驱动梁（9）、第二质量块（10）和检测电极（11），其中驱动梁（9）一端连接第一质量块（5），另一端连接第二质量块（10），解耦梁（8）分别连接第二质量块（10）和检测电极（11），支撑梁（7）一端连接检测电极（11），另一端通过锚点固定在基板（1）上。