[发明专利]一种三轴微机械陀螺仪

权利要求书

1.一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：包括基板（1）和固定安装在基板（1）上的陀螺仪主体（2），其中陀螺仪主体（2）包括平面检测单元和z轴检测单元；所述平面检测单元包括支撑结构（3）、驱动电极（4）和第一质量块（5），其中第一质量块（5）包括两个沿y轴分布的x轴检测质量块（x1、x2）和两个沿x轴分布的y轴检测质量块（y1、y2），且所述四个质量块以基板（1）中心点对称分布，所述支撑结构（3）与第一质量块（5）相连，所述驱动电极（4）与第一质量块（5）连接，此外基板（1）上对应第一质量块（5）的位置制作金属层，形成平面检测电极板（6）；所述z轴检测单元由两个模块组成，沿x轴以基板（1）中心点对称分布，每个模块包括支撑梁（7）、解耦梁（8）、驱动梁（9）、第二质量块（10）和检测电极（11），其中驱动梁（9）一端连接第一质量块（5），另一端连接第二质量块（10），解耦梁（8）分别连接第二质量块（10）和检测电极（11），支撑梁（7）一端连接检测电极（11），另一端通过锚点固定在基板（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述支撑结构（3）包括四个支撑单元，每个支撑单元包括支撑梁A（3a）和支撑梁B（3b），其中支撑梁A（3a）两端分别连接相邻的x轴质量块和y轴质量块，支撑梁B（3b）一端与支撑梁A（3a）中部连接，另一端通过锚点固定在基板（1）上。

3.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述驱动电极（4）为四个，分别包括固定电极（4a）和可动电极（4b），固定电极（4a）固置在基板（1）上，可动电极（4b）与第一质量块（5）连接。

4.根据权利要求1所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述检测电极（11）为四个，分别包括检测固定电极（11b）和检测活动电极（11a），检测固定电极（11b）固置在基板（1）上，检测活动电极（11a）连接支撑梁（7）和解耦梁（8）。

5.一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：包括基板（1）和固定安装在基板（1）上的陀螺仪主体（2），其中陀螺仪主体（2）包括平面检测单元和z轴检测单元；所述平面检测单元包括支撑结构（3）、驱动电极（4）和第一质量块（5），其中第一质量块（5）包括两个沿y轴分布的x轴检测质量块（x1、x2）和两个沿x轴分布的y轴检测质量块（y1、y2），且所述四个质量块以基板（1）中心点对称分布，所述支撑结构（3）与第一质量块（5）相连，所述驱动电极（4）与第一质量块（5）连接，此外基板（1）上对应第一质量块（5）的位置制作金属层，形成平面检测电极板（6）；所述z轴检测单元由两个检测模块和联动结构组成，其中两个检测模块沿x轴以基板（1）中心点对称分布，每个模块包括支撑梁（7）、解耦梁（8）、驱动梁（9）、第二质量块（10）和检测电极（11），其中驱动梁（9）一端连接第一质量块（5），另一端连接第二质量块（10），解耦梁（8）分别连接第二质量块（10）和检测电极（11），支撑梁（7）一端连接检测电极（11），另一端通过锚点固定在基板（1）上，联动结构与两个模块的检测电极（11）相连。

6.根据权利要求5所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述支撑结构（3）包括四个支撑单元，每个支撑单元包括支撑梁A（3a）和支撑梁B（3b），其中支撑梁A（3a）两端分别连接相邻的x轴质量块和y轴质量块，支撑梁B（3b）一端与支撑梁A（3a）中部连接，另一端通过锚点固定在基板（1）上。

7.根据权利要求5所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述驱动电极（4）为四个，分别包括固定电极（4a）和可动电极（4b），固定电极（4a）固置在基板（1）上，可动电极（4b）与第一质量块（5）连接。

8.根据权利要求5所述的一种三轴微机械陀螺仪，其特征在于：所述检测电极（11）为四个，分别包括检测固定电极（11b）和检测活动电极（11a），检测固定电极（11b）固置在基板（1）上，检测活动电极（11a）连接支撑梁（7）、解耦梁（8）和联动结构。

9.根据权利要求5所述的一种三轴微机电陀螺仪，其特征在于：所述联动结构包括联动梁（12）和联动支撑梁（13），联动梁（12）两端分别与z轴检测单元的两个模块的检测活动电极（11a）相连，联动支撑梁一段固置在基座（1）上，另一端与联动梁（12）相连。