[发明专利]用于沉积多晶硅的方法有效
申请号: | 201310414982.4 | 申请日: | 2013-09-12 |
公开(公告)号: | CN103723732A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 米哈伊尔·索芬 | 申请(专利权)人: | 瓦克化学股份公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;张英 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于沉积多晶硅的方法,包括将包含含硅组分和氢气的反应气体引入反应器中,结果,多晶硅以棒的形式沉积,所述方法包括在沉积结束之后将棒递送至所述反应器中,在所述多晶棒和反应器内壁周围流动的气体进攻硅或硅化合物以溶解含硅颗粒,所述含硅颗粒在沉积过程中形成,并且在将所述多晶硅棒移出所述反应器之前附着在所述反应器内壁或所述多晶硅棒上。 | ||
搜索关键词: | 用于 沉积 多晶 方法 | ||
【主权项】:
一种用于沉积多晶硅的方法,包括将包含含硅组分和氢气的反应气体引入反应器中,结果,所述多晶硅以棒的形式沉积,所述方法包括在所述沉积结束之后将所述棒递送至所述反应器中,在所述多晶丝棒和反应器内壁周围流动的气体进攻硅或硅化合物以溶解含硅颗粒,所述含硅颗粒在所述沉积过程中形成,并且在将所述多晶硅棒移出所述反应器之前附着在所述反应器内壁或所述多晶硅棒上。
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