[发明专利]对配备有相位板的TEM中的样本进行成像

摘要

本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。

主权项

一种在透射电子显微镜中形成样本的图像的方法，由电子束照射所述样本，并且所述样本将所述电子束分裂成非衍射电子束和散射电子束，所述电子显微镜配备有选自相位板、佛科装置或希尔伯特装置的对比度增强装置，所述对比度增强装置用于改进低空间频率下的对比度，将对比度增强装置设置在物镜的后焦平面中或者在所述平面的图像中，所述对比度增强装置呈现出相对无散射电子束的位置，所述方法其特征在于在形成图像期间，改变所述对比度增强装置与所述无散射电子束的相互位置。