[发明专利]对配备有相位板的TEM中的样本进行成像

权利要求书

1.一种在透射电子显微镜中形成样本的图像的方法，由电子束照射所述样本，并且所述样本将所述电子束分裂成非衍射电子束和散射电子束，所述电子显微镜配备有选自相位板、佛科装置或希尔伯特装置的对比度增强装置，所述对比度增强装置用于改进低空间频率下的对比度，将对比度增强装置设置在物镜的后焦平面中或者在所述平面的图像中，所述对比度增强装置呈现出相对无散射电子束的位置，

所述方法其特征在于

在形成图像期间，改变所述对比度增强装置与所述无散射电子束的相互位置。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述对比度增强装置相对所述显微镜保持固定，并且使所述射束相对所述样本倾斜，所述射束的倾斜导致在所述物镜的后焦平面中或者在所述平面的图像中形成的所述衍射图像的偏移。

3.如权利要求2所述的方法，其中，所述射束描绘相对所述样本的锥形倾斜，从而导致在所述物镜的后焦平面中或者在所述平面的图像中形成的所述衍射图像的圆周移动，所述圆周移动由具有直径的圆来描绘。

4.如权利要求2所述的方法，其中，所述射束描绘相对所述样本的时间相关的倾斜，从而导致在所述物镜的后焦平面中或者所述平面的图像中形成的所述衍射图像的线性移动，所述线性移动由线段来描绘并且所述线性移动沿垂直于所述对比度增强装置的直边的方向。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述对比度增强装置相对所述显微镜在与所述非衍射电子束垂直的平面中机械地移动。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述对比度增强装置描绘相对所述显微镜的圆或线段。

7.如以上权利要求中的任一项所述的方法，其中，以重复方式改变所述相互位置，并且重复频率在1 Hz与50 Hz之间，更具体地在5 Hz与20 Hz之间。

8.如权利要求3、5或6中的任一项所述的方法，其中，所述相位增强装置呈现出孔，并且所述圆的直径在所述孔的直径的0.5至1倍之间。

9.如权利要求3、5或6中的任一项所述的方法，其中，所述相位增强装置呈现出边缘，并且所述线性移动的漂移在至所述边缘的距离的0.5至1倍之间。

10.如以上权利要求中的任一项所述的方法，其中，在获取图像的同时，将与所述对比度增强装置所截取的电流成比例的信号用于使所述射束相对于所述对比度增强装置居中。

11.一种用于获取样本图像的透射电子显微镜，所述显微镜配备有相位增强装置以及用于控制所述显微镜的可编程控制器，其特征在于，所述控制器被编程为采用在获取图像的同时在所述相位增强装置上移动所述射束的方式来控制所述显微镜。

12.如权利要求9所述的透射电子显微镜，其中，所述控制器在获取图像的同时控制偏转器来使所述射束在所述相位增强装置上移动。

13.如权利要求9或10所述的透射电子显微镜，其中，所述显微镜配备有在获取图像的同时测量与所述对比度增强装置所截取的电流成比例的信号的部件，以及所述信号被用于使所述射束相对所述对比度增强装置居中。