[发明专利]一种半导体切割液无效
申请号: | 201310385554.3 | 申请日: | 2013-08-29 |
公开(公告)号: | CN104419507A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 章成荣 | 申请(专利权)人: | 章成荣 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10M169/04;C10N30/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213200 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及切割液的技术领域,具体地说是一种半导体切割液。该切割液所述各材料按以下重量组份组成:分子量200-10000聚乙二醇35-90份,pH值调节剂10-25份,渗透剂2-8份,螯合剂2-8份,去离子水余量;所述渗透剂是聚氧乙烯仲烷基醇醚(JFC);所述螯合剂是FA/O。本发明的目的是提供一种化学作用强,效果好的半导体切割液。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 切割 | ||
【主权项】:
一种半导体切割液,其特征在于,所述各材料按以下重量组份组成:分子量200‑10000聚乙二醇35‑90份,pH值调节剂10‑25份,渗透剂2‑8份,螯合剂2‑8份,去离子水余量。
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