[发明专利]薄膜沉积设备、制造有机发光显示装置的方法及显示装置有效
申请号: | 201310381944.3 | 申请日: | 2011-04-27 |
公开(公告)号: | CN103474447A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 宋正培;崔凡洛;李相泌;宋泳录 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩芳;薛义丹 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜沉积设备、一种制造有机发光显示装置的方法及一种显示装置。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件,每个薄膜沉积组件包括:沉积源,包括沉积材料;沉积源喷嘴单元,布置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴;图案化缝隙片,与沉积源喷嘴单元相对地布置并具有沿第一方向布置的多个图案化狭缝;阻挡板组件,包括沿第一方向布置的多个阻挡板,阻挡板组件布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。薄膜沉积设备和基底彼此分开并能相对彼此移动。沉积材料包括用来产生红光(R)发射层、绿光(G)发射层或蓝光(B)发射层或者辅助层的材料。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 沉积 设备 制造 有机 发光 显示装置 方法 | ||
【主权项】:
一种有机发光显示装置,包括多个像素,其中,多个像素均包括:绿色子像素,包括绿光发射层和绿光辅助层;红色子像素,包括红光发射层和红光辅助层;蓝色子像素,包括蓝光发射层,绿光辅助层布置在蓝光发射层和绿光发射层之间,红光辅助层布置在绿光发射层和红光发射层之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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