[发明专利]薄膜沉积设备、制造有机发光显示装置的方法及显示装置有效

专利信息
申请号: 201310381944.3 申请日: 2011-04-27
公开(公告)号: CN103474447A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 宋正培;崔凡洛;李相泌;宋泳录 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56;C23C14/04
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 韩芳;薛义丹
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开了一种薄膜沉积设备、一种制造有机发光显示装置的方法及一种显示装置。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件,每个薄膜沉积组件包括:沉积源,包括沉积材料;沉积源喷嘴单元,布置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴;图案化缝隙片,与沉积源喷嘴单元相对地布置并具有沿第一方向布置的多个图案化狭缝;阻挡板组件,包括沿第一方向布置的多个阻挡板,阻挡板组件布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。薄膜沉积设备和基底彼此分开并能相对彼此移动。沉积材料包括用来产生红光(R)发射层、绿光(G)发射层或蓝光(B)发射层或者辅助层的材料。
搜索关键词: 薄膜 沉积 设备 制造 有机 发光 显示装置 方法
【主权项】:
一种有机发光显示装置,包括多个像素,其中,多个像素均包括:绿色子像素,包括绿光发射层和绿光辅助层;红色子像素,包括红光发射层和红光辅助层;蓝色子像素,包括蓝光发射层,绿光辅助层布置在蓝光发射层和绿光发射层之间,红光辅助层布置在绿光发射层和红光发射层之间。
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