[发明专利]薄膜晶体管基板及包含此的有机发光显示装置

摘要

本发明涉及薄膜晶体管基板。本发明的一个实施例提供的薄膜晶体管基板包括：基板；位于基板上的栅极；位于栅极上的栅极绝缘膜；位于栅极绝缘膜上的氧化物半导体；位于氧化物半导体上的第一层间绝缘膜；位于第一层间绝缘膜上的数据线；位于数据线上的第二层间绝缘膜；位于第二层间绝缘膜上的源极，通过第二层间绝缘膜的第一接触孔与氧化物半导体以及数据线相连；位于第二层间绝缘膜上的漏极，通过第二层间绝缘膜的第二接触孔与半导体相连。

主权项

1.一种有机发光显示装置，包括：基板；位于所述基板上的第一信号线；与所述第一信号线交叉的第二信号线和第三信号线；与所述第一信号线和第二信号线连接的第一晶体管；与所述第一晶体管和所述第三信号线连接的第二晶体管；与所述第二晶体管连接的有机发光元件，所述第一晶体管和第二晶体管的源极和漏极以及与所述第二晶体管连接的所述有机发光元件的第一电极在相同的层上由相同的物质形成，所述有机发光显示装置还包括电容器，该电容器包括：位于所述基板上的电容器用第一导电体；位于所述电容器用第一导电体上的栅极绝缘膜；位于所述栅极绝缘膜上的第一层间绝缘膜；位于所述第一层间绝缘膜上的电容器用第二导电体；位于所述电容器用第二导电体上的第二层间绝缘膜；位于所述第二层间绝缘膜上的电容器用第三导电体，所述第一导电体通过形成于所述栅极绝缘膜、所述第一层间绝缘膜和所述第二层间绝缘膜的第三接触孔与所述第三导电体电连接，相比所述第二信号线以及第三信号线，所述第一晶体管和第二晶体管的源极和漏极以更薄的厚度形成，以最小化在进行湿式蚀刻时发生的因偏斜而导致的侧蚀的形成。