[发明专利]用于倍增电荷耦合器件的封装结构有效

专利信息
申请号: 201310352285.0 申请日: 2013-08-14
公开(公告)号: CN103400848A 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 陈于伟;程顺昌;袁中朝 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
主分类号: H01L27/148 分类号: H01L27/148;H01L23/043;H01L23/34
代理公司: 重庆辉腾律师事务所 50215 代理人: 侯懋琪;侯春乐
地址: 400060 重庆*** 国省代码: 重庆;85
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摘要: 一种用于倍增电荷耦合器件的封装结构,其特征在于:它由制冷器安装腔、真空泵接口、半导体制冷器、PCB电路板、芯片、环形支架和盖板组成;前述各个部件均为分体式结构;所述半导体制冷器设置于制冷器安装腔内,制冷器安装腔上端面与PCB电路板下端面密封连接;PCB电路板上端面与环形支架下端面密封连接;环形支架上端面与盖板密封连接;芯片设置于半导体制冷器的上端面;真空泵接口设置于半导体制冷器上;盖板中部设置有光窗。本发明的有益技术效果是:装置内的各个部分均为分体式结构,便于更换、维修和调节,同时,可对封装结构进行重复抽真空处理,提高新样品的制作效率,降低样品损耗。
搜索关键词: 用于 倍增 电荷耦合器件 封装 结构
【主权项】:
一种用于倍增电荷耦合器件的封装结构,其特征在于:它由制冷器安装腔(1)、真空泵接口(2)、半导体制冷器(3)、PCB电路板(4)、芯片(5)、环形支架(6)和盖板(7)组成;前述各个部件均为分体式结构;所述半导体制冷器(3)设置于制冷器安装腔(1)内,制冷器安装腔(1)上端面与PCB电路板(4)下端面密封连接;PCB电路板(4)上端面与环形支架(6)下端面密封连接;环形支架(6)上端面与盖板(7)密封连接;芯片(5)设置于半导体制冷器(3)的上端面;真空泵接口(2)设置于半导体制冷器(3)上;盖板(7)中部设置有光窗。
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