[发明专利]包括嵌入式MEMS器件的装置和用于制造嵌入式MEMS器件的方法有效
| 申请号： | 201310345497.6 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103569941A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | E.菲尔古特;R.洛伊施纳;H.托伊斯 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 胡莉莉;刘春元 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及包括嵌入式MEMS器件的装置和用于制造嵌入式MEMS器件的方法。公开了用于形成封装的MEMS器件的系统和方法。在一个实施例中，封装的MEMS器件包括：具有第一主表面的MEMS器件，所述第一主表面具有沿第一方向和第二方向的第一区域；部署在MEMS器件的第一主表面上的膜；以及与膜相邻的背板。封装的MEMS器件进一步包括灌封MEMS器件并限定背面容积的灌封材料，而背面容积具有沿第一方向和第二方向的第二区域，其中第一区域小于第二区域。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 嵌入式 mems 器件 装置 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种封装的MEMS器件，其包括：具有第一主表面的MEMS器件，所述第一主表面具有沿第一方向和第二方向的第一区域；部署在MEMS器件的第一主表面上的膜；与膜相邻的背板；以及灌封MEMS器件并限定背面容积的灌封材料，而背面容积具有沿第一方向和第二方向的第二区域，其中第一区域小于第二区域。
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