[发明专利]多喷射缝式燃烧器及用于在基板上沉积材料的装置

摘要

多喷射缝式燃烧器及用于在基板上沉积材料的装置。本发明公开了用于在基板上沉积导电材料的工艺，包括：燃烧预混合的燃料和氧化剂以形成贴着移动的物体或基板的滞止火焰，该移动的物体或基板稳定滞止火焰；以及将至少一种前体引入到火焰以在基板上形成导电材料。

主权项

一种形成矩形滞止火焰的多喷射缝式燃烧器，包括：第一端口，所述第一端口与狭缝形状的第一喷嘴流体连通，用于允许可燃烧气体通过所述喷嘴的流动和燃烧；第二端口，所述第二端口与邻近所述第一喷嘴的狭缝形状的第二喷嘴流体连通，用于将一种或多种前体引入到由通过所述第一喷嘴的可燃烧气体产生的火焰。