[发明专利]改进的薄型迭层式功率电感制程

摘要

一种改进的薄型迭层式功率电感制程，使功率电感包含多层堆栈的螺旋状电感线圈和绝缘层，其在基板上利用微影制程形成螺旋状电感图形，接着以聚酰亚胺(PI)或环氧树脂(Epoxy)干膜作为线圈上方的挡墙，然后于挡墙内经电镀制程使电感线圈的厚度增加，以此制作出高密度、高深宽比的螺旋线圈。

主权项

一种改进的薄型迭层式功率电感制程，其制程步骤包括：基板处理步骤：对基板表面进行处理，使去除杂质和油脂；种子层形成步骤：利用溅镀制程或蒸镀制程，在基板表面形成金属种子层；线圈图案形成步骤：在基板上方形成一层感光型高分子层，再利用一图案化金属层光罩对感光型高分子层曝光、显影，使感光型高分子层形成线圈型沟槽；接着蚀刻、去光阻，而在基板表面形成螺旋线圈图案金属层；挡墙形成步骤：在基板上方再涂上一层感光型高分子层，使感光型高分子层覆盖螺旋线圈图案金属层；再以图案化金属层光罩对感光型高分子层曝光、显影，使感光型高分子层在螺旋线圈图案金属层上方的两侧形成挡墙；电镀铜步骤：在挡墙围出的空间内，在螺旋线圈图案金属层的上方，利用电镀形成使螺旋线圈图案金属层增厚之电镀层；重复上述挡墙形成步骤和电镀步骤，使螺旋线圈图案金属层逐层镀到设计所需厚度，以制出高深宽比的螺旋状金属线圈。