[发明专利]分光模块以及分光模块的制造方法

摘要

本发明提供一种高可靠性的分光模块。在本发明所涉及的分光模块（1）中，向分光部（4）行进的光L1在通过光通过孔（50）的时候，穿过朝着基板（2）侧变得越来越窄的光入射侧部（51），只有入射到以与光入射侧部（51）的底面（51b）相对的形式形成的光出射侧部（52）的光从光出射开口（52a）出射。为此，入射到光入射侧部（51）的侧面（51c）或者底面（51b）的杂散光M被反射到与光出射侧部（52）相反的一侧，所以能够抑制杂散光入射到光出射侧部（52）。因此，能够提高分光模块（1）的可靠性。

主权项

一种分光模块，其特征在于：具备：分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行进的光所通过的光通过孔，所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入射侧部以及在所述基板部的另一主面划定光出射开口的光出射侧部，所述光入射侧部具有与所述一主面大致平行的底面并且以朝着所述另一主面变得越来越窄的形式形成，所述光出射侧部具有与所述另一主面大致垂直的侧面并且以与所述底面相对的形式形成，所述基板部由结晶材料构成，所述光入射侧部的侧面沿着（111）结晶面形成。