[发明专利]分光模块以及分光模块的制造方法

权利要求书

1.一种分光模块，其特征在于：

具备：

分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及

光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，

所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行进的光所通过的光通过孔，

所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入射侧部以及在所述基板部的另一主面划定光出射开口的光出射侧部，

所述光入射侧部具有与所述一主面大致平行的底面并且以朝着所述另一主面变得越来越窄的形式形成，

所述光出射侧部具有与所述另一主面大致垂直的侧面并且以与所述底面相对的形式形成，

所述基板部由结晶材料构成，

所述光入射侧部的侧面沿着（111）结晶面形成。

2.一种分光模块，其特征在于：

具备：

分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及

光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，

所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行进的光所通过的光通过孔，

所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入射侧部以及在所述基板部的另一主面划定光出射开口的光出射侧部，

所述光入射侧部具有与所述一主面大致平行的底面并且以朝着所述另一主面变得越来越窄的形式形成，

所述光出射侧部具有与所述另一主面大致垂直的侧面并且以与所述底面相对的形式形成，

在所述光检测元件与所述分光部之间形成有吸收光的光吸收层，

所述光吸收层具有通过所述光通过孔而向所述分光部行进的光所通过的光通过狭缝，

在与被形成于所述分光部的衍射光栅沟槽的延伸方向大致垂直的方向上，所述光通过狭缝的宽度小于所述光出射侧部的最小宽度。

3.一种分光模块，其特征在于：

具备：

分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及

光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，

所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行进的光所通过的光通过孔，

所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入射侧部以及在所述基板部的另一主面划定光出射开口的光出射侧部，

所述光入射侧部具有与所述一主面大致平行的底面并且以朝着所述另一主面变得越来越窄的形式形成，

所述光出射侧部具有与所述另一主面大致垂直的侧面并且以与所述底面相对的形式形成，

在所述光入射侧部的侧面形成有遮光层。