[发明专利]薄膜沉积制备方法以及纳米纤维结构柔性缓冲层制备方法无效
| 申请号： | 201310269857.9 | 申请日： | 2013-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN103409723A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘兴钊;张万里;蒋洪川;蒋书文;李言荣 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/30;C23C14/08;F01D5/28 |
| 代理公司： | 成都惠迪专利事务所 51215 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 610041 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 薄膜沉积制备方法以及纳米纤维结构柔性缓冲层制备方法，属于材料技术领域，本发明包括升温步骤、沉积步骤，其特征在于，沉积步骤中，沉积源的法线与基片表面法线的夹角为30°～80°。本发明的有益效果是，提供了一种性能良好的热应力释放机制，采用本发明制备的纳米纤维结构Al2O3柔性缓冲层薄膜具有良好的柔性和绝缘性，氧扩散系数小。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 制备 方法 以及 纳米 纤维结构 柔性 缓冲 | ||
【主权项】：
薄膜沉积制备方法，包括升温步骤、沉积步骤，其特征在于，沉积步骤中，沉积源的法线与基片表面法线的夹角为30°～80°。
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