[发明专利]受光元件无效

专利信息
申请号: 201310258404.6 申请日: 2010-07-21
公开(公告)号: CN103426966A 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 秋田胜史;石塚贵司;藤井慧;永井阳一 申请(专利权)人: 住友电气工业株式会社
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/18
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 苏卉;车文
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种可减少暗电流的受光元件,其具备衬底、受光层、扩散浓度分布调整层及窗层,受光层设置在衬底与扩散浓度分布调整层之间,扩散浓度分布调整层设置在受光层与窗层之间,包含窗层及扩散浓度分布调整层的半导体区域包含沿着与受光层的接合面依次配置的第一及第二区域,第一区域含有规定的杂质元素且与第二区域邻接,第一区域的导电型为p型,自窗层与扩散浓度分布调整层的接合面在第二区域中朝上述窗层内或扩散浓度分布调整层内延伸的规定区域内的n型载体浓度的最大值在5×1015cm-3以上、1×1019cm-3以下的范围内。
搜索关键词: 元件
【主权项】:
一种受光元件,其特征在于,具备:衬底,包含III‑V族半导体;受光层,设置在上述衬底上;扩散浓度分布调整层,与上述受光层邻接而设置,包含III‑V族半导体;及窗层,与上述扩散浓度分布调整层邻接而设置,具有大于上述扩散浓度分布调整层的带隙能,包含III‑V族半导体,上述受光层设置在上述衬底与上述扩散浓度分布调整层之间,上述扩散浓度分布调整层设置在上述受光层与上述窗层之间,包含上述窗层及上述扩散浓度分布调整层的半导体区域包含沿着与上述受光层的接合面依次配置的第一及第二区域,上述第一区域含有规定的杂质元素且与上述第二区域邻接,上述第一区域的导电型为p型,自上述窗层与上述扩散浓度分布调整层的接合面在上述第二区域中朝上述窗层内或上述扩散浓度分布调整层内延伸的规定区域内的n型载体浓度的最大值在5×1015cm‑3以上、1×1019cm‑3以下的范围内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友电气工业株式会社,未经住友电气工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310258404.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 一种新型红外遥控接收模组及其制造方法-201910504144.3
  • 侯宁 - 深圳市和创元科技有限公司
  • 2019-06-10 - 2019-10-22 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种新型红外遥控接收模组,包括双面电路板,所述双面电路板元件面嵌入安装有连接键,所述在双面板上的连接键涂有导电银浆,所述双面电路板元件面倒装有接收放大器,所接收放大器背面被光电二极管覆盖,所述光电二极管顶端安装有透镜,本发明结构科学合理,使用安全方便,本红外接收传感器不使用屏蔽盒、而是在最小的空间安装光电二极管和接收放大器晶圆,从而能使红外遥控器接收模组大小能比传统产品更加超小型化,随着其组件及制造工艺的简单化,可节减制造成本、提供最好的性价比产品,由于能充分遮蔽可见光照射至接收放大器晶圆上,因而阻止了接收放大器晶圆的光噪声,从而提高产品的特性。
  • 一种叠层双色红外焦平面探测器及其制备方法-201710786622.5
  • 司俊杰;曹先存;鲁正雄;张利学;侯治锦;吕衍秋 - 中国空空导弹研究院
  • 2017-09-04 - 2019-10-08 - H01L31/101
  • 本发明涉及一种叠层双色红外焦平面探测器及其制备方法,属于半导体光电子器件技术领域。本发明将分布布拉格反射镜结构引入叠层InAs/GaSb双色超晶格结构光敏芯片中,分别对叠层双色光敏吸收区未完全吸收的红外光进行反射,使之重新返回吸收区本发明。通过对叠层双色红外探测器的两个通道采用反射镜层,提高了芯片相应通道的光电吸收效率,达到了提高器件性能指标的目的,同时相应减少了外延生长第一通道外延结构层和第二通道外延结构层的难度。
  • 光晶体管结构的柔性紫外探测器-201710841003.1
  • 李青;雷威;张镇波;孙义;张旭 - 东南大学
  • 2017-09-18 - 2019-09-10 - H01L31/101
  • 本发明涉及提出一种无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器。基底(1)为玻璃基底,在基底(1)上制备CsPbX3薄膜(2)作为有源层,在CsPbX3薄膜(2)表面制备同物质的CsPbX3量子点(5)掺杂的PMMA有机层(4)作为栅绝缘层,以此为紫外光感应窗口;薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)分别位于CsPbX3薄膜(2)上的两边,FTO栅极(6)位于CsPbX3薄膜(2)的上的中间,在薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)和FTO栅极(6)调制下,获得光生载流子分离、转换的电信号读取、放大的集成功能,以实现高响应度的紫外信号探测。光晶体管探测器可采用如图1所示的顶栅结构,也可以采用如图2所示的底栅结构。以上两种结构可制备在玻璃基板上,也可以制备在柔性基板上形成底栅或顶栅结构的柔性光晶体管紫外探测器。
  • 紫外光敏传感器、其制备方法、紫外光敏器件及紫外光检测方法-201610249800.6
  • 刘同军;赵豪;程驰;赵颖 - 纳智源科技(唐山)有限责任公司
  • 2016-04-21 - 2019-09-10 - H01L31/101
  • 一种紫外光敏传感器的制备方法,包括:制作电极,制备氧化锌悬浮液,制作氧化锌感光薄膜,热处理与封装。由该方法制备的紫外光敏传感器,包括:氧化锌感光薄膜,用于探测紫外光;第一电极和第二电极,二者互不接触,位于氧化锌感光薄膜同一侧,是电信号输出端。一种紫外光敏器件,包括光敏元件模块和信号采集模块。一种紫外光检测方法,包括:在待测光照射下,光敏元件模块的光敏电阻产生阻值变化而输出电信号;信号采集模块采集和处理与光敏电阻串联的分压电阻输出的分压,根据相邻固定时间段内的分压差值,确定是否刷新显示。
  • 一种多频段探测的量子阱探测器及其制造方法-201710498919.1
  • 康晓旭 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2017-06-27 - 2019-08-20 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种多频段探测的量子阱探测器及其制造方法,所述探测器包括衬底、反射层、反射腔室、固体填充层、谐振腔、N个量子阱单元以及位于每个量子阱单元上的上电极和下电极,所述固体填充层沉积在衬底上方,所述N个量子阱单元位于所述固体填充层之上,所述量子阱单元包括能障层和能阱层,且至少有两个量子阱单元中的能阱层不同,所述反射层和对应的量子阱单元之间的固体填充层为该量子阱单元对应的谐振腔,且所述谐振腔的高度为入射到其正上方的量子阱单元中的入射光波长的1/4。本发明提供的一种多频段探测的量子阱探测器,可以同时实现多频段红外光的探测,也可以提高入射光吸收率。
  • 一种紫外光电探测器及其制备方法-201910392147.2
  • 徐英添;王肖依;吴虹达;王灌鑫;马光辉;石琳琳;张贺;金亮 - 长春理工大学
  • 2019-05-13 - 2019-08-06 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种紫外光电探测器及其制备方法,该紫外光电探测器,包括硅衬底、金层、铜镓氧材料或掺杂金属元素的铜镓氧材料层,金层位于硅衬底上,铜镓氧材料或掺杂金属元素的铜镓氧材料层位于金层上。该紫外光电探测器可以实现探测性能,抗干扰能力强,稳定性好,响应速度迅速。制备方法包括:在Si衬底上利用紫外光刻法制备差分电极图案;在差分电极图案上磁控溅射金层;在金层上添加铜镓氧材料或掺杂金属元素的铜镓氧材料。利用光刻法将电极做在衬底上,实现测试简易化。铜镓氧材料或掺杂金属元素的铜镓氧材料采用水热法制备,可以通过控制温度和反应时间来控制合成纳米片的尺寸。
  • 一种用于制作红外探测器的复合结构及红外探测器-201822171481.9
  • 徐玉亭;吴绍龙;刘鉴辉;刘慧敏;俞童;习雪;眭博闻;王紫薇 - 苏州大学
  • 2018-12-24 - 2019-07-09 - H01L31/101
  • 本实用新型属于光电探测和传感技术领域,为解决现有技术中基于金属吸收的光探测器光吸收不高和吸收波段调制困难的问题,提出一种用于制作红外探测器的复合结构,利用金属微纳米孔阵列层/半导体薄膜/金属薄膜复合结构构筑基于金属吸收的热电子红外探测器;通过激发顶层金属微纳米孔阵列的局域等离子共振、底层金属薄膜的表面等离激元,以及将两者耦合起来形成的杂化型等离子共振来极大增加金属对入射光的吸收,并将上下两层金属吸收光产生的热载流子均注入到中间半导体层,从而得到可观的光响应度;通过调控顶层微纳米孔的周期和直径、中间半导体层的厚度和折射率可以实现从近红外到中红外的可调光谱吸收。
  • 全无机钙钛矿微米片、肖特基型紫外光电探测器及制法-201910170863.6
  • 方国家;桂鹏彬 - 武汉大学
  • 2019-03-07 - 2019-07-05 - H01L31/101
  • 本发明提供全无机钙钛矿微米片、肖特基型紫外光电探测器及制法。微米片的制备方法包括:步骤1.配制CsPbCl3溶液;步骤2.将CsPbCl3溶液滴加到衬底上,然后将另一片衬底覆盖在滴有CsPbCl3溶液的衬底上,得到夹设有CsPbCl3溶液的双层衬底;步骤3.将双层衬底移入盛有反溶剂的容器中,并使衬底高于液面,然后将容器密封;步骤4.将容器置于热台上,在30~70℃下,生长12~96h,最终在衬底上生长出CsPbCl3钙钛矿微米片。进一步基于此制备得到具有ITO左电极/钙钛矿微米片/ITO右电极结构的探测器,该探测器具有响应度高、灵敏度高、响应恢复时间快等优点,并对紫外光具有选择性探测能力。
  • 一种可调吸收频率的量子阱红外探测器及其制作方法-201710499126.1
  • 康晓旭 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2017-06-27 - 2019-06-21 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种可调吸收频率的量子阱红外探测器及其制作方法,所述可调吸收频率的量子阱红外探测器从下往上依次包括衬底、金属支撑层、量子阱单元、压电材料层,还包括上电极、下电极和压电电极,位于衬底上方的金属支撑层内部为凹槽,且与所述量子阱单元形成微桥谐振腔,所述压电材料层位于量子阱单元的上方,所述上电极和下电极连接量子阱单元的最上层和最下层,且在电极与量子阱单元接触区域通过离子注入方式形成欧姆接触层,所述压电电极连接压电材料层。本发明提供的一种可调吸收频率的量子阱红外探测器含有压电材料层,通过调节压电材料层的电压,改变量子阱单元的能带结构和微桥谐振腔的高度,从而调节入射光的吸收频率。
  • 光敏二极管-201821747329.4
  • 张俊攀 - 深圳威斯康科技有限公司
  • 2018-10-26 - 2019-06-21 - H01L31/101
  • 本实用新型公开了一种光敏二极管,包括底板、光敏二极管管芯、引脚及壳体,壳体一端为开口状,壳体设置于底板上方,壳体与底板形成一个封闭的密封腔,光敏二极管管芯设置于密封腔内,光敏二极管管芯为扁平状结构,光敏二极管管芯垂直设置于底板上方,光敏二极管管芯两侧面均设有具有光敏特征的PN结,光敏二极管管芯设有PN结的侧面与底板相互垂直,引脚一端穿过底部与光敏二极管管芯连接,引脚另一端设置于底板下方。本实用新型提供了一种光敏二极管,相比传统的光敏二极管,本实用新型所公开的光敏二极管管芯双面设置具有光敏特征的PN结,可以满足对不同方向射入的光线接收,增加了光敏二极管PN结的光照面积,从而提高了光敏二极管的进光量。
  • 一种提高光吸收率的量子阱红外探测器及其制作方法-201710498986.3
  • 康晓旭 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2017-06-27 - 2019-06-07 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种提高光吸收率的量子阱红外探测器及其制造方法,所述探测器包括衬底、量子阱单元、上电极、上电极欧姆接触层、介质层、下电极和下电极欧姆接触层,所述衬底表面含有竖直的凸起物,所述下电极位于下电极欧姆接触层的上方,且下电极周边为介质层,所述量子阱单元采用外延生长法沉积在所述衬底表面下电极和介质层之外的区域,位于衬底表面凸起物上的量子阱单元为多面体,所述上电极通过上电极欧姆接触层和量子阱单元的最下层连接,其中,欧姆接触层通过离子注入工艺形成。本发明提供的一种提高光吸收率的量子阱红外探测器具有多个吸收面,有效地提高了量子阱红外探测器的吸收效率。
  • 一种高灵敏的ZnO/AlN核鞘纳米棒阵列紫外光探测器的制备方法-201711122070.4
  • 徐春祥;游道通;石增良;秦飞飞 - 东南大学
  • 2017-11-14 - 2019-05-28 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种高灵敏的ZnO/AlN核鞘纳米棒阵列紫外光探测器的制备方法,包括如下步骤:在蓝宝石衬底上生长ZnO纳米棒阵列;采用磁控溅射法在ZnO纳米棒上溅射不同厚度的AlN鞘层薄膜;采用溅射法或者电子束蒸镀分别在ZnO/AlN核鞘纳米棒阵列两端制备具有欧姆接触的金属电极,构成完整的器件。本发明通过简单的磁控溅射方法,控制溅射时间,在ZnO纳米棒上生长不同厚度、表面光滑均一的AlN鞘层薄膜,制备的ZnO/AlN核鞘光探测器件不仅具有更好的紫外光响应,在360nm紫外光照射下,电压为5V时,明暗电流比为5.5×103,提高了一个数量级,同时具有更快速的响应和恢复时间,分别是0.883和0.956s。
  • 用于至少一个对象的光学检测的检测器-201780029760.7
  • S·瓦鲁施;C·朗根施密德;W·赫尔梅斯;R·森德;I·布鲁德 - 特里纳米克斯股份有限公司
  • 2017-04-03 - 2019-04-02 - H01L31/101
  • 提供了一种用于精确确定至少一个对象(112)在空间中的位置的简单且仍然可靠的检测器。该检测器包括具有布置在至少两个电极(132,132')之间的至少两个单独的pin二极管(130,130')的堆叠的纵向光学传感器(114)。根据由入射光束(136)对传感器区域的照射,生成纵向传感器信号。给定相同的照射总功率,纵向传感器信号取决于光束(136)的束横截面(188)。该至少两个单独的pin二极管(130,130')具有不同的光谱灵敏度,以便使得能够通过不同光谱范围内的光束(例如,通过在可见光谱范围内和在红外光谱范围内的光束)确定对象和检测器之间的距离。
  • 一种超宽谱光探测器-201610094847.X
  • 贺军辉;曹阳;孙家林;杨花 - 中国科学院理化技术研究所
  • 2016-02-22 - 2019-02-15 - H01L31/101
  • 本发明公开一种超宽谱光探测器。该探测器包括光敏材料和电极,其中光敏材料为自支撑还原氧化石墨烯薄膜,电极为金属。探测器结构是使自支撑还原氧化石墨烯薄膜处于悬空状态,金属电极与还原氧化石墨烯薄膜连接即可。该探测器工作在室温空气中;探测谱段范围广,可实现从紫外至太赫兹光谱范围的探测;探测器对从紫外至太赫兹的所有谱段的响应速度快,均为毫秒量级;制备简单、成本低廉,在实际应用中具有广阔前景。
  • 具有垂直侧壁敏感层的红外探测器及其制备方法-201710516399.2
  • 康晓旭 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2017-06-29 - 2019-02-12 - H01L31/101
  • 本发明提供了一种具有垂直侧壁敏感层的红外探测器及其制备方法,通过在半导体衬底上形成至少一条鳍结构;在鳍结构侧壁可以采用离子注入形成敏感层;在鳍结构底部形成下电极层,下电极层与敏感层底部相接触;以及在鳍结构上方形成上电极层,上电极层与敏感层顶部相接触。本发明通过设置垂直侧壁敏感层来降低光刻对敏感层的影响,减小对敏感层的灵敏度的影响。
  • 基于二维硒纳米片的固体光探测器及其制备方法-201810775946.3
  • 张晗;谢中建 - 深圳大学
  • 2018-07-16 - 2018-12-25 - H01L31/101
  • 本发明提供了一种基于二维硒纳米片的固体光探测器,包括基底、依次设置在基底上的隔离层和光吸收层,以及间隔设置在光吸收层上的源极和漏极,源极和漏极之间形成的沟道结构暴露出部分光吸收层,光吸收层的材料包括二维硒纳米片。本发明提供的光探测器性能良好。本发明还提供了一种基于二维硒纳米片的固体光探测器的制备方法,包括:将二维硒纳米片分散在有机溶剂中形成二维硒纳米片分散液,将二维硒纳米片分散液均匀涂布在隔离层上,干燥后得到光吸收层;在光吸收层上方以及未被光吸收层覆盖的隔离层上方旋涂光刻胶,经曝光和显影后,形成电极图案;沉积电极材料,随后去除光刻胶,形成源极和漏极,得到光探测器。本发明提供的方法简单易操作。
  • 基于表面等离激元的波长选择Si基光电导中远红外阻挡杂质带探测器及其制备方法-201610436379.X
  • 吴惠桢;朱贺;许金涛 - 浙江大学
  • 2016-06-17 - 2018-12-04 - H01L31/101
  • 本发明专利公开了一种基于表面等离激元的波长选择Si基光电导中远红外阻挡杂质带探测器及其制备方法,从下至上依次为高纯硅基底、高纯硅基底上低电阻率的掩埋底电极、高掺杂吸收层、杂质带阻挡层,在阻挡层上方沉积的钝化层,阻挡层上设有上电极互连区和上电极,上电极是由铝薄膜形成的正方形周期圆孔阵列,铝薄膜形成正方形周期圆孔阵列是探测器的表面等离激元结构,实现波长选择功能。上电极使用金属铝,铝的制备工艺简便成熟,价格便宜易于获得,抗锈蚀能力强,同时与器件的兼容性能好;采用剥离工艺制备金属铝正方形周期圆孔阵列,相比于腐蚀技术,可控性及实际效果更好。
  • 具备凹凸结构的受光部以及聚光部的感测装置-201690001263.7
  • 李东根;朴宰完;李晶基;崔州丞 - LG伊诺特有限公司
  • 2016-12-27 - 2018-12-04 - H01L31/101
  • 本实用新型涉及一种用于利用光信号来掌握目标物的状态的感测装置。具体涉及在基板与盖基板之间具备发光部以及受光部的感测装置,其在盖基板上紧贴形成受光部,以使从所述发光部照射的光信号更加有效地被受光部感测,并通过使所述受光部形成凹凸结构,能够更加有效地感测光信号,进而通过包括集聚来自所述发光部的光来更加有效地照射到目标物的聚光部,从而提高灵敏度。
  • 一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构-201820606657.6
  • 张真真;万文坚;黎华;符张龙;李子平;仲雨;曹俊诚 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 2018-04-26 - 2018-11-27 - H01L31/101
  • 本实用新型涉及一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构,其包括:多个呈阵列分布的微腔单元以及一位于所述微腔单元下方的衬底,其中,每个所述微腔单元包括:一上金属电极,以及一设置在所述上金属电极的下表面上的所述量子阱探测器中的外延层,该外延层的几何尺寸与所述上金属电极的几何尺寸相同;所有所述微腔单元还包括:一共用的供所述外延层设置于其上的下金属电极板,该下金属电极板设置在所述衬底的上表面上。本实用新型不仅可以实现光的正入射耦合,有效提高量子阱对光的吸收效率,降低量子阱探测器的暗电流,提高其工作温度,而且可以达到微腔内电场增强的效果,提高量子阱探测器的光耦合效率。
  • 一种超短沟道金属-半导体-金属型光探测器及制作方法-201810502821.3
  • 齐俊杰;李峰 - 北京科技大学
  • 2018-05-23 - 2018-11-16 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种超短沟道金属‑半导体‑金属型光探测器及制作方法,涉及光探测技术领域,采用二维二硫化钼垂直方向构建光探测器沟道,利用超短沟道产生的隧穿电流,实现对不同波长范围的光线进行探测,光暗电流大,光响应速度快,光响应度高。该探测器包括绝缘衬底,建立在所述绝缘衬底上的底电极,完全覆盖所述底电极的沟道,位于所述沟道上方的顶电极。所述绝缘衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、蓝宝石基片和带有氧化层的硅片中的一种,所述电极为金属电极,所述沟道为二维二硫化钼,所述沟道宽度为0.7‑2nm。本发明用于进行光探测,具有柔性透明的特点。
  • 感测装置-201590001591.2
  • 李昊旻 - LG伊诺特有限公司
  • 2015-12-28 - 2018-11-13 - H01L31/101
  • 本实用新型涉及感测装置,其包括:基板;发光部,形成在所述基板上,用于照射光信号;受光部,形成在所述基板上,用于接收由所述发光部照射并被对象物体反射的光信号,所述受光部是配置成围绕所述发光部的光电二极管。本实用新型涉及的感测装置能够增加接收灵敏度,缩小受光部与发光部之间的距离,因此能够简化感测装置的结构,并减少损失。
  • 一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法-201710148802.0
  • 孙月静 - 孙月静
  • 2017-03-14 - 2018-09-25 - H01L31/101
  • 本发明公开了紫外探测器技术领域的一种铝镓氮基日盲紫外探测器,包括衬底,所述衬底的顶部设置有缓冲层,所述缓冲层的顶部设置有吸收层,所述吸收层的顶部设置有电极,所述衬底采用蓝宝石材料制成,该铝镓氮基日盲紫外探测器的制备方法包括以下步骤:S1:清洁衬底;S2:制备缓冲层;S3:制备吸收层;S4:冲洗;S5:制备沉积层;S6:蚀刻;S7:制备电极;S8:组合、安装,该发明提出的一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法,工艺流程简单,成本低廉,能够实现日盲探测。
  • 表面等离激元-半导体异质结谐振光电器件及其制备方法-201810188107.1
  • 张彤;王善江;张晓阳 - 东南大学
  • 2018-03-07 - 2018-09-07 - H01L31/101
  • 本发明提出了一种表面等离激元‑半导体异质结谐振光电器件及其制备方法,其中,表面配体分子(2)修饰在表面等离激元纳米结构(1)上,表面等离激元晶面结构(3)绑定在表面配体分子(1)上,半导体纳米结构晶种(4)位于表面等离激元晶面结构(3)上,一维半导体纳米结构(5)位于半导体纳米结构晶种(4)上,且各部分形成紧密的接触。该类异质集成材料在界面处实现了晶格的匹配,大大降低了缺陷、晶面粗糙等带来的损耗,可实现表面等离激元模式与光模式的直接耦合,在纳米激光器、纳米热源、光电探测及光催化领域中具有极大地应用前景。
  • 一种高速硅基光探测器-201310179786.3
  • 李冰 - 李冰
  • 2013-05-15 - 2018-08-28 - H01L31/101
  • 本发明公开了一种基于SiGe HBT(锗硅异质结双极性晶体管)的硅基光探测器。在一个实施例中,硅基光探测器包括一个埋入N型掺杂(NBL)与一个位于其上的近本征掺杂的P型区(Collector区),以及一个位于Collector区上的SiGe单晶层(基区)。所述SiGe单晶层为P掺杂。所述Collector区为光探测器的有源区,入射光子在此产生光生载流子,被反向偏置的由所述P型SiGe单晶、本征型Collector区和NBL区组成的PIN管所收集,在外电路中形成光电流。在另一个实施例中,在所述P型SiGe单晶层上方生长N型掺杂的多晶硅,类似于HBT中的发射极(emitter)。在其它实施例中,所述emitter层,由在P型SiGe单晶区上继续生长的N型SiGe单晶构成。
  • 一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构及其制作方法-201810384191.4
  • 张真真;万文坚;黎华;符张龙;李子平;仲雨;曹俊诚 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 2018-04-26 - 2018-08-21 - H01L31/101
  • 本发明涉及一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构及其制作方法,其中,所述耦合结构包括:多个呈阵列分布的微腔单元以及一位于所述微腔单元下方的衬底,其中,每个所述微腔单元包括:一上金属电极,以及一设置在所述上金属电极的下表面上的所述量子阱探测器中的外延层,该外延层的几何尺寸与所述上金属电极的几何尺寸相同;所有所述微腔单元还包括:一共用的供所述外延层设置于其上的下金属电极板,该下金属电极板设置在所述衬底的上表面上。本发明不仅可以实现光的正入射耦合,有效提高量子阱对光的吸收效率,降低量子阱探测器的暗电流,提高其工作温度,而且可以达到微腔内电场增强的效果,提高量子阱探测器的光耦合效率。
  • 基于硅微结构的1064nm增强型四象限光电探测器-201810082946.5
  • 黄烈云;江海波;刘钟远;伍明娟;龙雨霞;胡莉娟 - 中国电子科技集团公司第四十四研究所
  • 2018-01-29 - 2018-07-13 - H01L31/101
  • 本发明提出了一种基于硅微结构的1064nm增强型四象限光电探测器,包括:P+区和N+区分别形成在N型衬底层上下两侧的表层中,硅微结构层形成在N+区的下侧面上;钝化膜设置在硅微结构层表面;增透膜设置在P+区表面;增透膜上设置有P电极孔,P电极通过P电极孔与P+区接触;钝化膜上设置有N电极孔,N电极通过N电极孔与N+区接触;硅微结构层由N+区表面在高浓度硫气氛中被飞秒激光脉冲瞬态熔融而得。本发明的有益技术效果是:提出了一种基于硅微结构的1064nm增强型四象限光电探测器;该光电探测器中设置了硅微结构层,硅微结构层对可见光及近红外光的有较高的吸收率,并且可以被很好的钝化,暗电流较低。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top