[发明专利]基于光致发光的太阳能晶硅硅片质量预测、控制方法有效
申请号: | 201310241396.4 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN103311374A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 朱君兰;朱琛;赵子石;赵福祥;李秉喆;洪定義 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源(启东)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;G01N21/63 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226200 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种基于光致发光的太阳能晶硅硅片质量预测、控制方法,包括进行硅片取样,构建硅片样本库;用激光编码器将所取的硅片进行标识;使用光致发光测试系统对硅片测试,并使用读码器读取其身份信息;将硅片按生产工艺制作成电池片,测试电池的电学参数;构建硅片和对应电池相关参数的数据库;对来料硅片进行抽样;使用光致发光测试系统对所抽样本进行测试,根据建立的预测模型对硅片生产成电池后的电学参数进行预测,以此对来料硅片的质量进行预测;按照预测的结果,对来料的硅片的质量进行控制。本发明可以有效预测硅片的质量,以控制硅片质量、提高成品率、避免生产成本的浪费,从而降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 基于 光致发光 太阳能 硅片 质量 预测 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种基于光致发光的太阳能晶硅硅片质量预测、控制方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:(1)进行硅片取样,构建硅片样本库;(2)使用激光编码器将所取的硅片进行标识;(3)使用光致发光测试系统对硅片进行测试,记录硅片的缺陷及杂质的程度和硅片其他信息,并使用读码器读取硅片身份信息以对采集的数据进行辨识;(4)将硅片按生产工艺制作成电池片,测试电池的电学参数;(5)构建硅片和对应电池相关参数的数据库,建立硅片生产成电池后的电学参数预测模型;(6)对来料硅片进行抽样;(7)使用光致发光测试系统对所抽样本进行测试,根据建立的预测模型对硅片生产成电池后的电学参数进行预测,依此对来料硅片的质量进行预测;(8)按照预测的结果,对来料的硅片的质量进行控制。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的